毕业设计论文_硫系薄膜的制备.docVIP

编号： 　　　 本科毕业设计（论文） 题目：基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究 Research prepared by thermal evaporation of the optical properties of chalcogenide thin films 学 院 信息科学与工程 专 业 多媒体信息处理 班 级 电信071 学 号 074100308 姓　名 冯江超 指导教师 张巍 职称　讲师　　 完成日期  诚 信 承 诺 我谨在此承诺：本人所写的毕业论文《基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究》均系本人独立完成，没有抄袭行为，凡涉及其他作者的观点和材料，均作了注释，若有不实，后果由本人承担。 承诺人（签名）： 冯江超 年 月 日 摘　要 【摘要】硫系薄膜是硫系玻璃材料光学器件向集成化、小型化发展的一个重要研究方向。本文介绍了硫系薄膜的发展与应用及常见的制备方法，并选择热蒸发方法制备了Ge-Sb-Se组分的硫系薄膜。并对所得薄膜进行结构和性能测试包括：薄膜的透过光谱（分光光度计），薄膜组分（xps），薄膜结构（拉曼光谱）和薄膜厚度（台阶仪）等参数。结果表明热蒸发法制备Ge-Sb-Se薄膜具有良好的物理结构和光学特性，在集成光学器件方面很高的应用潜力。 【关键词】硫系玻璃，硫系薄膜；热蒸发法，光学特性，。 Abstract 【ABSTRACT】Chalcogenide thin films of chalcogenide glass optical devices to the integration, miniaturization is an important research direction. This article describes several chalcogenide optical properties of amorphous films,learning the preparation methods of Chalcogenide glass and Compare their advantages and disadvantages,according to the laboratory existing conditions preparation the chalcogenide thin films in thermal evaporation method. Through the exploration of film-forming conditions, developed a preliminary process parameters tested by X-ray photoelectron spectroscopy of the composition obtained the different between film and target block. Measured by spectrophotometer through the spectrum from the film,Calculate the nonlinear refractive index, nonlinear absorption coefficient and film thickness and other parameters. The results show that the thermal evaporation preparation of Ge-Sb-Se thin films with good physical structure and optical properties, high application potential in terms of Integrated optical devices . 【KEYWORDS】Chalcogenide glass, Chalcogenide thin films, Thermal evaporation, Optical properties. 目　录 摘　要 II Abstract III 目　录 IV 1 绪论 1 1.1 硫系薄膜简介 1 1.2 硫系薄膜的性质 2 1.2.1 非线性品质因数（FOM） 2 1.2.2 非线性光学特性 2 1.2.