多层镜软x光能谱仪的结构设计与有限元分析 structure design and finite-element analysis of multilayer-mirror soft x-ray energy spectrometer.pdfVIP

第20卷第8期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．20，No．8 2008年8月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Aug．，2008 文章编号： 1001—4322(2008)08．1275—04 多层镜软X光能谱仪的结构设计与有限元分析。 侯立飞， 易荣清，杜华冰，刘慎业 (中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900) 摘要：8通道多层镜软x光能谱仪结构采用整体式，结合中心准直机构，保证了多层镜的角度，实现系 统整体瞄准，大大简化了瞄准程序．建立了谱仪的3维模型，利用ANSYS软件完成了有限元分析．静力学分 析结果表明。在重力作用下准直件的变形较大，Y方向上的变形量为0．016mm，通过增加准直筒厚度可消除影 响．模态分析得到了影响谱仪使用性能必须避免的噪声。分析结果为保证谱仪测量精度提供了理论依据． 关t词：软x光，多层镜；能谱仪；有限元分析，模态分析 中图分类号：TH842 文献标志码：A 在ICF实验研究中，X光能谱可