基于衍射光栅的ccd相机标定方法 calibration of ccd camera based on diffraction gratings.pdfVIP

第23卷第12期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．23，No．12 2011年12月 HIGHP()WERI．ASERANDPARTICI。EBEAMS Dec．。2011 文章编号：1001—4322(2011)12-3183—05 基于衍射光栅的CCD相机标定方法。 贺元兴h2’3， 李新阳h2 (1．中国科学院光电技术研究所．成都610209；2．中国科学院自适应光学重点实验室，成都610209l 3．国防科学技术大学光电科学与工程学院．长沙410073) 摘 要： 提出一种基于1维线衍射光栅的CCD相机光电响应特性标定方法。该方法利用衍射光栅对入 射光束的分束特性，在远场焦平面内形成一系列衍射子光斑，采取有效的方法对多组衍射子光斑峰值测量数据 进行融合。得到测量灰度值及通过理论计算得到的理论灰度值，拟合两组数据从而完成对CCD光电响应特性 的标定。根据实验室现有的激光源与聚焦光学系统的参数，设计了一系列l维线光栅．完成某特性未知的红外 CCD相机对中红外激光光电响应特性的标定。该标定方法具有光能利用率高的特点。多组测量数据的融合扩 大了CCD标定的范围．并对标定结果在光斑真实形态重构中的应用进行了分析讨论。 关键词： 电荷耦合器件；线光栅；线性响应I光束质量 中图分类号：TN386．5 文献标志码： A doi：10．3788／HPLP3183 CCD相机具有光电转换特性好、灵敏度高、动态范围大及体积小等诸多优点，已成为诊断激光束质量的核 心器件【1]。光束质量的准确测量以激光在远场焦平面内光强分布的准确测量为前提，但受限于CCD有限的动 态响应范围，测量前需对CCD相机作标定，以便获得正确结果。目前，对CCD相机的标定方法很多，传统的采 用标准能量卡计对CCD进行标定的方法操作简单，但其不足在于标定工作需多次曝光采样，并且基于绝对能 量测量的标定方法存在很大误差心‘31；文献[4—5]分别提出基于小孔衍射和双缝衍射的CCD标定方法，虽然只 需单次曝光便可完成标定工作，但测量方法本身要求小孔和双缝的透光区域尺寸足够小，这导致光能利用率 低，当标定光源输出功率不够时。该方法并不能对相机的整个动态范围作标定；文献[6]通过尖劈分束方法在同 一个CCD相机上得到一系列不同衰减倍率的子光斑，利用各子光斑峰值测量值与理论值间的对应关系对 CCD相机进行标定，此方法光能利用率高，但其不足在于可用于标定的像素点数不及小孔衍射和双缝衍射的 标定方法。 衍射光栅在光学领域有着诸多应用。基于光栅法的光束传播因子肝的测量就是利用了其对待测激光的 分束特性[7_8]。本文将光栅的分束特性用于CCD相机的光电响应特性的标定问题，制作了一系列1维线衍射 光栅，对某特性未知的红外CCD相机光电响应特性进行了标定，分析了标定结果在实际远场光斑真实形态恢 复中的应用。 1 1维线衍射光栅的设计 1．1 1维线光栅的远场分布 假设1维线光栅的光栅常数为d，每个狭缝的宽度为a，透过率函数沿}方向被周期性调制，采用外径为 D．内径为￡D(e为中心遮拦比)的单位振幅环形均强平面光束照明，则1维线光栅透过率函数为[9] 娜，=[1rect(詈)o ㈩ circ(古)为半径为R的圆形窗I：I函数。 根据1维线光栅的夫琅和费衍射理论，在焦面上衍射场的复振幅分布为 -收藕日期：2011-09—01l修订日期：2011一09一16 作者简介：锻元必(1984一)．男．博L研究乍．从事i自i能激光技术方面研究lyuanxing-he@163．corn。 通信作者：李新阳．男．研究员．从事自适应光学方面研究上作Ixyli@ioe．ac．cn． 万方数据 3184 强 激 光 与 粒 子 束 第23卷