利用散射辐射分布矩测量表面轮廓均方根斜率 measurement of root-mean-square slope of profile using the moments of laser scattering distribution.pdfVIP

第39卷 第8期 激光与红外 V01．39．No．8 2009年8月 I■5ER＆ INFRARED August，2009 文章编号：1001-5078(2009)08-0840-04 ·激光技术与应用· 利用散射辐射分布矩测量表面轮廓均方根斜率 曾 焱，艾克拜尔江·克然木 (华南理工大学理学院物理系，广东广州510641) 摘 要：为了利用激光散射分布测量表面粗糙度参数，从分析高斯粗糙表面非傍轴散射光能量 的角分布特征与轮廓均方根斜率之间的关系，得到了利用散射角分布进行粗糙表面横向粗糙 度参数的测量方法。提出了散射光的两个特征值：辐射立体角密度矩肘(p)和肘(妒)，用以表 征散射光能量立体角分布情况，并给出了在非傍轴远场条件下的测量和计算方法。实验证明， 给出的特征参数能够得到散射光能量立体角分布特征并可用于测量粗糙表面横向形貌参数。