能动磨盘变形检测中的各误差因素分析 error analysis of deformation measurement of active lap.pdfVIP

第25卷第2期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．25，No．2 HIGH 2013年2月 POWERLASERANDPARTIC：LEBEAMS Feb．，2013 文章编号： 1001-4322(2013)02—0325—05 能动磨盘变形检测中的各误差因素分析” 赵洪深1’2， 李晓今1， 曾志革1 (1．中国科学院光电技术研究所，成都610209；2．中国科学院研究生院，北京100049) 摘要：针对现有4530 mm)，系统分析了检测过程中的 mm能动磨盘的检测系统(有效检测口径4420 球头误差、传感器安装角度误差和坐标定位误差，并给出了各项误差对检测精度的影响。同时，还针对检测基 座不完全水平的问题建立模型，应用最小二乘法实现了检测数据的去倾斜处理。给出了实测数据去倾斜前后 和误差补偿前后的检测精度对比情况，结果表明去倾斜算法能较好地还原实测数据，补偿检测