用于saw器件的c轴择优取向linbo3薄膜的制备及结构研究 preparation and structure of higher c-axis oriented linbo3 thin films for sawd.pdfVIP

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2017-08-25 发布于上海
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用于saw器件的c轴择优取向linbo3薄膜的制备及结构研究 preparation and structure of higher c-axis oriented linbo3 thin films for sawd.pdf

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用于saw器件的c轴择优取向linbo3薄膜的制备及结构研究 preparation and structure of higher c-axis oriented linbo3 thin films for sawd

! # ·$ ! 第 17卷第 3期年月 * Vol.17 No.3 Mar.2006 2006 3 JOurnalO O tOelectrOnics Laser f p 用于 SAW 器件的 C轴择优取向 LinbO3 薄膜的制备及结构研究 ! ! ! ! ! 杨保和陈希明赵捷杨晓苹徐屁李明 (天津理工大学光电信息学院天津 300191 摘要 :采用射频 ( 磁控溅射法在金刚石 ( 衬底上沉积 ( 薄膜借助射线衍射技术 RF 111 LiNbO LN X 3 (XRD 研究了外加偏压 (0 80 V 和衬底温度 (200 500C 等工艺参数对 LiNbO 薄膜结构和取向性 ~ ~ 3 的影响 0 实验结果表明在衬底温度为 200C~ 外加偏压为 -80 V 的工艺条件下 LiNbO3 的 ( 006 衍射峰强度超过的 ( 衍射峰强度在金刚石 ( 衬底上获得较高轴取向的薄膜 0 并且对轴 LN 012 111 c LN c 择优取向 LN 薄膜的形成机理进行了探讨 0 关键词 :声表面波 ( ; 薄膜 ; 金刚石 ; 射频磁控溅射 ; 择优取向 SA LiNbO3 中图分类号 !