有机聚合物光波导的端面处理研究 the research of machining for integrative polymer waveguide facet.pdfVIP

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2017-08-25 发布于上海
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有机聚合物光波导的端面处理研究 the research of machining for integrative polymer waveguide facet

第27卷第4期光电子技术 V01．27No．4 2007年12月 OPTOELECTRONlCTECHNOLOGY Dec．2007 有机聚合物光波导的端面处理研究’ 钱淑冰，胡国华，恽斌峰，崔一平” (东南大学先进光子学中心，南京210096) 摘要：主要研究如何在不损伤聚合物的前提下，实现聚合物波导的端面处理，即对端面的研磨和抛光。由于硅材料和聚合物材料的物理特性差别，除了要选择好特定的抛光材料以外，在抛光时还要特别控制抛光速度和抛光时间：速度过快会造成硅片“塌边”和损坏聚合物膜。试验结果表明：抛光速度在50r／min以上很容易造成损伤；速度在20r／rain左右的抛光效果较理想。抛光时问不够则不能达到抛光要求。关键词：光集成器件；聚合物光波导；封装；抛光中图分类号：0472+．8文献标识码：A 文章编号：1005—488X(2007)04一0228一03 TheResearchof for MachiningIntegrative Pol Facet ymerWaveguide Guo—hua，YUN QIAN Bin—feng，CUIYi—ping Shu—bing，HU (AdvancedPhotonicCenter，Southeast 210096，CHN) University，Nanjing silicon amethodtomachine basedon wafer．For Abstract：Thispaperpresents waveguide siliconand anddurationis thedifferent characterbetween physical polymer，choosingrightspeed as asusedmaterial resultsshowthatthe of20 forwhet— crucial used。Experimental speed r／min and is over50 is factoristhedura— appropriately，whiler／minimproper．Another ting polishing tion，whichwouldalsodeterminetheresult． integratecomponent；polymer Keywords：optical 和间接耦合。与后者相比，前者具有结构简单、耦合引言效率高等优点，因而受到国内外广泛的关注。为了减小直接耦合带来的插入损耗，在光纤一波导对接对于集成光学器件而言，从实验室走向实用化之前要对聚合物光波导的端面进行处理，即对波导的关键是实现光