条纹反射法检测光学反射镜面形教材.pdfVIP

第 44卷第 9期 光 子 学 报 Vo1．44No．9 2015年 9月 ACTA PH0TONICA SINICA September2015 doi：10．3788／gzXb2O154409。0912004 条纹反射法检测光学反射镜面形 袁婷 ，张峰 ，陶小平 ，周润 ，付锦江 (1中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 ，中国科学 院光学系统先进制造技术重点实验室，长春 13OO33) (2中国科学 院大学 ，北京 100049) 摘 要 ：针对光学反射镜在精磨 向初抛光过渡阶段时面形与理想面形存在较大偏差的问题 ，采用轮廓仪 和普通干涉仪检测无法满足加工检测需求的问题 ，提 出采用动态范围大且准确度高的条纹反射法来检 测光学反射镜．研究分析 了条纹反射检测系统的原理及系统误差，运用光线追迹软件对条纹反射检测 i00mm口径反射镜面形进行建模仿真