光纤消逝场传感器传感结构的分析与应用 analysis and application of the sensing structure for optical fiber evanescent field sensors.pdfVIP
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光纤消逝场传感器传感结构的分析与应用 analysis and application of the sensing structure for optical fiber evanescent field sensors
MEMS传感器
MEMSand
光纤消逝场传感器传感结构的分析与应用
军1
罗 吉1’2,庄须叶1,倪祖高1’2,姚
家重点实验室,
(1.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国
100039)
成都610209;2.中国科学院研究生院,北京
摘要:对光纤消逝场理论进行了详细分析,阐述了影响光纤消逝场传感器灵敏度的一些关键因
素,并对几种常见的光纤消逝场传感光纤的优缺点进行了比较,主要包括圆柱形、D形、U形、
锥形以及光子晶体光纤等结构的传感光纤。通过分析各种传感结构的光纤消逝场传感器的应用实
例,归纳总结了提高光纤消逝场传感器传感灵敏度的一般方法,包括在传感光纤表面镀薄敏感膜
或者金属膜、优化传感光纤结构、进行荧光标记以及用纳米粒子修饰等一系列措施。
关键词:光纤;光纤传感器;消逝场;传感结构;灵敏度
and ofthe Structurefor
AnalysisApplicationSensing
FiberEvanescentFieldSensors
Optical
Luo Junl
Jil”,ZhuangXuyel,NiZuga01”,Yao
(1.State andElectronics,
KeyLaboratoryofOpticalTechnologiesforMicrofabrication,InstituteofOptics
61
Chinese 0209,China;2.GraduateChinese
AcademyofSciences,Chengdu Universityof
100039,China)
AcademyofSciences,Beijing
fiberevanescentfield is in the factorsaffec—
Abstract:The detail,and
optical theoryanalyzed key
the ofthesensorarediscussed meritsanddefectsofseveralcom—
ting sensitivity thoroughly.The
field fibersare the
monevanescent
sensing compared,including
fibersandother the of
fibers,photoniccrystaloptical sensingfibers.Throughanalysis
tapered
ofthose
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