薄膜涂覆研究进展.pdf

第 卷 增刊 北 京 工 业 大 学 学 报 即 年 月 薄膜涂覆 的研 究进展 刘华敏 , 刘赵森, 廖 洪 北京工业大学 机械工程与应用 电子技术学 院 , 北京 , 和 生 匀 因 于 摘 要 由于薄膜流过 的基面不是平面 涂覆机械在工作 时 的振动 旋转使薄膜产 不均 性 此对 薄膜 的非均匀性行为需要进行深入 的力学研 究 本文对薄膜涂覆工艺及分类进行 了介绍 , 从力学 角度 阐述 了影 响薄 、 匀程 及 因 , 如 流 、 界层 、 态 周 、 态 、 展 望 了 膜厚度 均 度 涂覆速度 的诸多 素 薄膜 动 边 动 湿 动 接触 角 接触线等 并 薄 膜涂覆 的发展现状 关锐词 薄膜涂覆 薄膜流动 涂覆工艺 涂覆材料 中图分类号 文献标识码 文章编号 一 增刊 一 一 涂 一 层 于基 程 度 而 要 , 形 多 薄膜 覆是将 薄 液体涂 底 的过 薄膜厚 非常薄 且精度 求非常高 基底 状复杂 , , 样 薄膜流动 的流变特性在很大范 围内变化 几个 离散 的涂层 需要 同时涂覆 ‘ 实际生产 中一层涂抹得不 均匀 , 就会导致整个薄膜 的厚度不均 匀 , 甚至 出现涂抹缺 陷 由于机械设备 、 操作 以及 生产工 艺等原 因, 薄膜涂层也会 出现气泡 、 针孔 、 波纹