Draper实验室微机械惯性敏感器的研制情况和近期测试结果.pdf

维普资讯 《惯导 与仪表》 2001．No．2 Draper实验室微机械惯性敏感器的研制情况 及近期测试结果 M ·E ·Ash莩 摘 要 哥氏振动 陀螺仪 (CVG)的工作原理是通过作用在振动质量上的哥氏效 应来检测惯性转动的。Dl~pc~实验 室的微机 电系统 (MEMs)中的 CVG设计是利 用支撑在与硅结构 阳极粘接 的玻璃基 片的两个硅检测质量 ．进行 电容耦合梳状驱 动异相 埔O。振动原理进行工作 的，沿与速度矢量垂直 的角运动使检测质量做 离面 运动，经电容检测到和放大后得出惯性角速率的测量结果。 经过对设计的不断改进 ，现在 DraperCVG的偏置稳定性在温控 (±025℃) 状态下 ，6小时漂移测试 已好 于 10~／h，在 一4o 至 +85 范 围内的温度补偿 为 50~／h，相应 的偏置和刻度 因数为 2001：lma，角度 随机 漂移 的典 型值 为 0．25。／,Fh， 日观测的最好值为0．05~／4h。 与之对应的 MEMS力矩再平衡加速度计也 已研制 ，它是支撑放置在玻璃片上 的一非平衡硅跷板状检测质量 ，玻璃基片上提供传感器和静 电力矩电容嚣 ．在温 控状态下6小时漂移测试 中已验证亚毫 g性能，在 一40 至 +85 范围内的温度 补偿性能为 lnig，相应 的偏置和刻度 因数为200ppm，速度漂移为 5cm／s／√h。 本文也讨论了MEMS硅振 荡加速度计 (s0A)，它通过依 附在普通检测质量 上 电容耦合梳状硅谐振片的频率变化测量加速度 。 1．引 言 ChlLrle8StarkDraper实验室公 司是 以它 的创建者名字命名 的非赢利研究与开发公司 ， Dl~pc~博士是美国惯导界之父。传统的D埔一 陀螺设计是利用滚珠轴承和气浮轴承转子。 Draper实验室 1984年开始进行基于振荡检测质量 的陀螺设计 ，这种设计是受某种 昆 虫在飞行 中靠附着在翅膀末端的不断振动的质量体提供稳定飞行的原理启发的。 应用振荡质量的陀螺 (测量没有外部基准 的惯性角运动的仪表)被 IEEE／AESS陀螺 和加速度计委员会 (GAP)称为哥氏振荡陀螺 (CVG)。基于 GAP的定义，CVG是一种结 构、驱动与振荡模态通过哥氏加速度与至少一种另外结构模态 (传感器)之间耦合作用的 陀螺。 1992年，Draper实验室应用微机 电系统技术 ，在使用集成电路工业 中的硅片光刻和化 学蚀刻工艺制作陀螺方面有了突破 。1993年Dl~pc~公司授权 Rockwell公司应用该技术进行 商业开发。该技术许可证 随后又卖给渡音公司及现在 的Honeywell公司，Draper的硅片 题 目原文 ：MicromechanicalInertialsens0rDevelopmentatD M Laborato~-WithRecentTestRe— sults 维普资讯 《惯导与仪表》 2001．No．2 CVG在与它的工业伙伴合作中被继续发展。 第二部分详细介绍 了DraperMEMS电容耦台梳状驱动的振动陀螺的设计 、生产及未来 项 目中的近期测试结果。第三部分介绍了已经开始研制的与微机械陀螺同类 的摆式 MEMS 电容力平衡加速度计及近期测试结果。 第四部分介绍 了Draper硅振荡加速度计 (SOA)，它使用附着在一普通榆测质量上的 硅谐振片 ，检测质量应用 电容耦台梳状驱动的振荡器控制回路 ，在谐振频率下使谐振片保 持振荡。在加速度作用下 ，一谐振片处于拉伸状态且频率增加 ，而另一谐振片处于压缩状 态且频率降低。为获得改善 的线性度及消除多种误差影响的共模信号，采用测量频率差的 方法测量加速度 。 2．硅 片陀螺 2．1 工作原理