力学计量-8压力与真空计量技术.ppt

* 2 真空计量标准器具 我国真空标准器具包括一等标准和二等标准两类。 一等标准计量器具有流导法真空装置、膨胀法真空装置、液体压力计及压缩式真空计等四种组成。 二等标准计量器具有六个真空计组成，包括两个不同测量范围的热规、两个电容薄膜真空计，一个磁悬浮转子真空计和一个压缩式真空计组。 * （1）膨胀法真空装置 膨胀法是一种静态法，用得多的是多级膨胀法真空装置，两级和三级装置最多 * （2）流导法真空装置 单极流导法校准原理图 二级流导法校准原理图 * 3 真空工作计量器具 真空工作计量器具就是各种型式的真空计。 * 二 检定 1 真空国家基准的检定 部件检定法 基准压缩式真空装置的误差来源：汞密度、重力加速度、真空计常数、两毛细管汞柱面高度差、测量管压缩后气柱的高度等测量的不确定度，以及装置真空度的不稳定度。 基准液体式压力计的误差来源：工作介质密度、重力加速度、液柱面高度差等测量的不确定度。 * 2 标准真空计的检定 一等标准计量器具中流导法、膨胀法真空装置和压缩式真空计组都是绝对式真空计，只能用真空国家基准进行间接检定。 一等标准中的液体压力计是一种相对式真空计。在使用前必须进行校准定度。 二等标准中除压缩式真空计组外，都是相对式真空计。可以用一等标准流导法和膨胀法真空装置进行检定。当用一等标准液体压力计检定二等标准电容薄膜真空计时，