大离轴量凹面取样镜的设计.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ３９ ５ 　 　 　 Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．５ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１０ ５ Ｍａ ２０１０ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｙ 文章编号： （ ） １００４４２１３２０１００５０８５１４ 大离轴量凹面取样镜的设计 李红光，张彭舜，达争尚 （中国科学院西安光学精密机械研究所 先进光学仪器研究室，西安 ７１０１１９） 摘 要：根据系统的使用要求以及椭球面特有的成像性质，提出使用离轴椭球面来完成光束取样和 　 完善成像的设计方式 利用设计输入，计算出镜面的初始结构参数，得到离轴椭球面的二次曲线方 ． 程，将计算结果带入光学设计软件 中验证成像质量 结果表明：离轴椭球面不但将物点和 ＺＥＭＡＸ ． 像点分开，减小了系统的长度，而且在像点处成完善像，将离轴成像转换为轴上成像，使后续光斑成 像系统的高质量成像易于实现． 关键词：费马原理；离轴；椭球面；非球面度；光学设计 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＨ７４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ０８５１ 　　　　 　　　　 ｇ 分，物点落在椭球面的一个焦点 上，它在另一个 犉１ ０ 引言 　 焦点 处成完善像，并在 处放置 器件实时 犉２ 犉２ ＣＣＤ 椭球面的两个焦点为一对理想物象点，这一特 观测 处的状态，如图 虚线部分 犉１ １ ． 殊的特点，使得它在激光光斑测量中有重要的应用． 本文着重论述了离轴椭球面的设计原理，并对设计 结果进行成像验证 通过对非球面度的计算和工艺 ． 实施性进行分析，保证镜面后期研制的可行性． 离轴椭球面利用菲涅尔自然反射来实现光束的 取样，并完成对物点光斑消像差 设计中，在离轴凹 ． 面取样镜上采用了特定参数的旋转椭球面，既获得 图 椭球面物象关系 １ 了具有无像差的成像质量，又将离轴成像转换为轴 　 Ｆｉ．１ Ｔｈｅｏｂｅｃｔａｎｄｉｍａｉｎ ｒａｌａｔｉｏｎｓｈｉｏｆｅｌｌｉｓｏｉｄａｌｓｕｒｆａｃｅ ｇ 　 ｊ