大学物理实验教案与系列讲座xps物理和应用.pptVIP

主要内容 1. 什么是“X射线光电子能谱” X射线光电子能谱（ XPS ，全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。 这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此它还有一个名称，即化学分析电子能谱（ ESCA，全称为Electron Spectroscopy for Chemical Analysis） 2. XPS中涉及的物理学原理 3. 如何解读XPS 4. XPS在现代科研工作中的地位及作用 结语： 物理实验教学的目的是为了使同学们更好地把握物理规律； 把握物理规律是为了更好地应用； 更好地应用才可以造福人类； 开阔视野，求真务实 选例一：Nafion膜中的C价态分布 选例二：利用XPS研究Maleimido-terminated 自组装膜的合成效率 图6 在Maleimido-terminated单膜表面 外接thiols或amines基的反应简示 在Maleimido-terminated单膜以及外接DNA的XPS分析图谱 Wang Y. Y., Cai J., Rauscher H., Behm R. J., Goedel W. A., Maleimido-terminated Self-assembled Monolayers, Chemistry- A European Journal, 2005, 11, 3968-3978 选例三：XPS在工业生产中的应用实例 铜合金产品在不同清洗条件下样品表层元素含量变化 温度控制部件上失效部位分析 第 * 页 中国科学技术大学 天文与应用物理系 蔡 俊 X射线光电子能谱的物理学 原理及其在表面分析中的应用 什么是“X射线光电子能谱（XPS）” XPS中涉及的物理学原理 如何解读XPS XPS在现代科研工作中的地位及作用 XPS是由瑞典Uppsala大学的K. Siegbahn及其同事历经近20年的潜心研究于60年代中期研制开发出的一种新型表面分析仪器和方法。鉴于K. Siegbahn教授对发展XPS领域做出的重大贡献，他被授予1981年诺贝尔物理学奖。 另外，他也被我校化学物理系聘为名誉教授 ；XPS现象基于爱因斯坦于1905年揭示的光电效应，爱因斯坦由于这方面的工作被授予1921年诺贝尔物理学奖；X射线是由德国物理学家伦琴（Wilhelm Conrad R?ntgen，l845-1923）于1895年发现的，他由此获得了1901年首届诺贝尔物理学奖。 X射线物理 光电效应 能量分析 超高真空 系统集成 2.1 X射线物理 X射线起源于轫致辐射，可被认为是光电效应的逆过程，既： 电子损失动能 ? 产生光子(X射线) 快电子 原子核 慢电子 EK1 EK2 h? 光子 因为原子的质量至少是电子质量的 2000 倍，我们可以把反冲原子的能量忽略不计。 2.1 X射线物理 上 图：X射线管示意图； 下右图：现代商用型X射线源，X射线的出射窗采用很薄的铝箔材料，厚度约为1~2?m，它可以阻止X射线源中的散射电子的通过，同时还可滤去相当部分的轫致辐射所形成的X射线本底。 Anode 1 Anode 2 h? Al Folie e- Filament 2 Filament 1 Kühlung Fokus Laborquelle X射线管 104 ~105 V + - 2.1 X射线物理 ? max ? 强度 加速电压 35000 伏 钼靶 典型的X 射线谱表现为在连续谱（白光X 射线）上出现迭加的标识峰（特征X 射线），其对应的波长表征着靶物质的特性。可以根据靶原子原子结构的量子描述来解释这些特征 X 射线谱线。 靶材不变时，改变加速电压V ，则 X 射线连续谱的?max 改变，但标识 X 射线频率却不变； 改变靶材时，加速电压 V 不变，特征 X 射线谱的峰位将发生改变，但 X 射线连续谱的 ?max 不变。 2.1 X射线物理 Monochromator 2.1 X射线物理 在目前的商业化仪器中， XPS的靶材一般采用Al/Mg双阳极靶，这样可以根据分析需要来进行选择，由Al靶产生的Al K?射线光子的能量为1486.6 eV，Mg K?为1253.6 eV。另外，还有选用Ti的K?射线作为光源，其光子能量为2040 eV； 作为XPS的激发源，要求其具有光强强、单色性好的特点。X射线的单色性越高，谱仪的能量分辨率也越高，因此，一般说来，高精度XPS系统中会自带一套单色光源，比如，单色Al K?源； 选择什么样的X射线作为