针对基于陶瓷衬底的风速传感器的热不对称特性补偿研究 thermal asymmetry compensation using power adjustment technology for a wind sensor fabricated on ceramic substrate.pdfVIP

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2017-08-27 发布于上海
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针对基于陶瓷衬底的风速传感器的热不对称特性补偿研究 thermal asymmetry compensation using power adjustment technology for a wind sensor fabricated on ceramic substrate.pdf

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针对基于陶瓷衬底的风速传感器的热不对称特性补偿研究 thermal asymmetry compensation using power adjustment technology for a wind sensor fabricated on ceramic substrate

No．2 第34卷第2期电子器件 V01．34 Chinese 201 JoumalofElectronDevices 1年4月 Apr．2011 Thermal Power AsymmetryCompensationUsing Adjustment foraWindSensor onCeramic Fabricated Substrate+ DONG Ziqiang，QINMing，HUANGQing’art+ (KeyLaboratoryofMEMSofMinistryoyEducation。Southeast210096，China) University，Nanjing wind fornon—ideal thestructure Abstract：Asensor，withpower adjustment packagingcompensation，isreported．In ofthe Platinum／TitaniumresistorsSUITound inthecenterofthe areusedtohotthe sensor，two together chip．They sensortomakeits be thantheambienttoaconstantvalueanddetectthe of temperaturehigher averagetemperature thesensor．TheheatdistributionisdetectedfourPlatinum／Titanium onthe resistors，located by symmetricallychip． Thethermal distributioninthe tonon-ideal was aMicroControlUnit asymmetric sensor，due packagingsampledby (MCU)．An ofthethermal Wasobtainedto feedbackto the expression asymmetry provide adjustheating signals offour heatersandcanceltheaffectofthermal distribution power auxiliary asymmetry．Aftercompensationbypower fluctuationisreducedto theerrorofwinddirectionislessthan2。．