振动式微型发电机的研究现状与发展趋势 current rd of the micro vibration-based generator.pdfVIP

振动式微型发电机的研究现状与发展趋势 current rd of the micro vibration-based generator.pdf

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!!# $%’(% ) *%(+,-.-/0 ’()*+,-./012#+345 ! ! ! 唐 彬 温志渝 温中泉 董 媛 重庆大学 微系统研究中心光电技术及系统教育部重点实验室! 重庆 !!! # ! ! ! ! 摘要 微能源具有体积小 重量轻等特点 是军民两用高新技术发展的迫切需求 已成为近年 来 领域的一个重要发展方向 微能源主要分为微型电池和微型发电机两大类 本文着重 #$#% $ $ 介绍基于#$#% 技术的微型发电机的研究现状和通过振动实现能量转换的发电机系统及其电磁 % ! $ 式 静电式和压电式三种主要实现方法 指出了微型发电机的发展趋势 关键词 微机电系统 振动式发电机 电磁 静电 压电 ! 中图分类号! 12’3 文献标识码! ) 文章编号! %#4%5*44# #!4 $ (5!(*5( !#$%’ ()* +, ’-% ./0$+ 1/2$3’/+456789 :88$3’+$ 1)67 89: % ;,6 =95? % ;,6 =@:A5B?C: % DE67 ?C: # % !# $%’(%)’(# ’* +,)’-.)(’/0. 1.2/’-’3# %/4 5#6)76 80.(’95#6)7 :6%(.2 ;/)( ’* ;2’/30/3 =/0(60)# % ;2’/30/3 *** % ;20/%$ ;27’$6’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