紫外激光烧蚀铜诱导电子辐射的研究 electron radiation mechanism in ultraviolet laser ablation of copper.pdfVIP

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2017-08-27 发布于上海
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紫外激光烧蚀铜诱导电子辐射的研究 electron radiation mechanism in ultraviolet laser ablation of copper.pdf

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紫外激光烧蚀铜诱导电子辐射的研究 electron radiation mechanism in ultraviolet laser ablation of copper

第34卷第2期光电工程 V61．34．No．2 2007年2月 Opto—ElectronicEngineering Feb．2007 文章编号：1003—501X(2007)02—0069—05 紫外激光烧蚀铜诱导电子辐射的研究黄庆举 (茂名学院物理系，广东茂名525000) 摘要：通过时间分辨技术对xecl紫外激光烧蚀金属cu过程中收集板上电荷的时间分辨测量，荻取收集板电压信号的时间分辨，分析了激光烧蚀过程中电子与离子到达收集板的特征。结果表明，电子首先从靶面出射，离子紧随其后。收集扳上的正、负电压信号分别由激光烧蚀金属cu产生离子和电子发射而引起，高能电子对环境气体具有碰撞电离的作用。连续辐射的产生与持续时间和收集板上接收电子的负电压信号相对应。结合连续辐射强度的空间分布，对电子辐射的机理进行了探讨。认为电子辐射主要为韧致辐射，韧致辐射来源于近靶处高能电子与等离子体中的粒子相互作用，它是产生连续辐射的主要成因。关键词：激光烧蚀；电子辐射；时间分辨光谱中图分类号：0536 文献标识码：A ． ElectronradiationmechanisminultraVioletlaserablationof copper HUANG Qing-ju (Phys．Depl．，MnomingCoitege，Mnoming52sO∞，CMnd、 Abstract：Basedontime—resolVed XeClexcimerlaserabIation signaIproducedby measurement，collector．platevoltage of were resultsshowedthat ofmetalCuwas electronandion investigated．Theproperties anaIyzed．Theexperimental electronandionwereformedinablationandthatelectronwaslaunchedfirstwhenthemetalwasablatedlaseL ta嬉et by Electron resultedin ofconector ion resuItedinnegatiVeVoltage launching positiVevoltagesignal plate，andlaunching ofc01lector radiatjonwas to ofc01lector plate．Continuum negatiVeV0ltagesignal plate，andhigh— signal corTesponsiVe madeambient with of radiation kinetic electron ioniz