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2017-08-27 发布于上海
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紫外激光精细加工应用研究 application of uv laser micro-processing.pdf

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紫外激光精细加工应用研究 application of uv laser micro-processing

第3I卷第3期应用激光 V01．31，No．3 2011年6月 APPlJEDLASER June2011 紫外激光精细加工应用研究骆公序1一，陈俊1t2，王国庆1’2，潘涌1’2，姜兆华1,2 (-上海市激光技术研究所，上海200233：2上海市激光束精细加工重点实验室，上海200233) 摘要采用纳秒级紫外DPSS激光和具有机器视觉定位功能的多轴高精度加工系统，对不锈钢、镍片、铍铜、聚酰亚胺等多种材料进行切割和打孔试验。通过调节离焦量、扫描速度、扫描次数，实现了0．1mill的金属薄板和聚合物薄膜的加工，取得了切缝光滑的加工效果，并且具有加工精度高、热效应小等特点。对不同材料的作用机理和工艺实验结果进行了分析，结果表明，紫外 DPSS激光在铜类材料和聚食物类材料的加工上具有优势。关键词紫外激光：激光打孔；激光切割；金属薄板：聚酰弧胺中图分类号：TN23 文献标识码：A doi：10．3788／A0228 ofUVLaser Application Micro-Processing Luo Zhaohual·2 Gongxul”，ChenJunl”，WangGuoqin91”，PanYon91一，Jiang (1 Institute Shanghai ofLaserTechnology，鼬彻gIl反200233·China： 2The LabLaserBeam Key of Micro-processingofShangha／，Shwtgha／200233，China) AbstractIn UV laserwithmulti-axismachinevision hasbeen this DPSS paper,nanosecond precisionpositioningmachiningsystem for the of the used and materialsstainlesssteel，nickel and cuttingdrilling plate，berylliumcoppedpolyimide．Byadjustingdefocusing mmthick and smoothkeff achievethe0．1 metalsheet film a distance，scan times。to polymer gotten speed，scan processing,has effectswith andminimalheat—affectedzones．Mechanismofdifferentmaterialsand experimental processing highpreeison process