自然对流对气流式角速度传感器的影响 effect of natural convection on the gas-flow angular rate sensor.pdfVIP

第31卷第2期 压电与声光 V01．31No．2 2009年4月 PIEZOELECTECTRlCS＆ACOUST00PTlCSApr．2009 文章编号：1004—2474(2009)02—0182一04 自然对流对气流式角速度传感器的影响 朴林华1，丁 霞2，李言杰1，张福学1 (1．北京信息科技大学北京市传感器重点实验室．北京100101，2．青岛科技大学数理学院。山东青岛266061) 摘 要：解释了自然对流对气流式角速度传感器的影响机理。利用ANSY孓FLOTRANCFD软件，通过建模、 划分网格、加载和求解等途径，计算了在输入不同角速度时气流式角速度敏感元件内的流场。结果表明，由于自然 对流的存在，无角速度输入时两热电阻丝处的气流速度之差△口随倾斜角的不同发生改变，检测电桥输出一个零位 电压△u，平均绝对偏差为16mV，在传感器灵敏度为40mV·[(。)／s]-1时，误差达到o．4(。)／s，导致零位重复性变 差；由于自然对流的存在，有角速度输入时两热电阻丝处的气流速度之差△t，也随倾斜角的不同发生，不同角速度 情况下，不同倾斜角引起的检测电桥电压△U平均相对偏差为2．4％，误差达到O．03(。)／s，引起灵敏度不稳定；自 然对流对气流式角速度传感器的零位重复性的影响较大。对灵敏度的稳定性影响较小。该文为消除自然对流对气 流式角速度传感器的影响，提高传感器的零位重复性和灵敏度的稳定性提供了理论和实验依据。 关键词：自然对流；角速度；流场；传感器 中图分类号：TN379；TN37文献标识码：A EffectofNaturalConVectionontheGas—flow RateSensor Angular PIAoLin-hual，DINGXia2，LI FIl-xuel Yan．jiel，ZHANG Lab．for 1nfo哪ation 100101。China； (1．Be幻ingKey sensor，BeijingScience＆TechnoJogyUnjvefsity，Beijing 8L 2．Schoolof ofScience 266061，Chuina) Physics＆Mathematics，QingdaoUniversity Technology，Qingdao Abstract：Inthis effectmechanismfromnaturalconvectiononthe ratesensorisdis— paper，the gas—flowangular ANSY争FLOTRANCFD streamfieldof in rate elementon cussed．Using program．the gasgas—flowangularsensing different ratehasbeenobtainedaseriesof asmodel inputting angular by procedure，such thereis and re