谐振腔增强型红外光电探测器的反射镜的分析与优化设计.DOC

谐振腔增强型红外光电探测器的反射镜的分析与优化设计 周勇 张晓霞 王仕超 王祥斌 陈沛然 冷洁 (电子科技大学 光电信息学院， 四川成都 610054） 摘要： 针对顶镜和底镜最上层厚度为二分之一中心波长的DBR反射镜，引入了现代光学薄膜技术中“虚设层”的概念，并进行了详细的理论分析和说明。用传输矩阵法推导了DBR反射镜的反射率，对其顶镜和底镜的反射率在真实器件的条件下进行计算，仿真得到了采用不同的顶层厚度的DBR反射镜的反射率及其与Si-SiO2层的对数、波长等的关系，证明了“虚设层”理论分析的正确性，对设计高性能RCE）红外光电探测器具有指导意义。 关键词： 谐振腔，DBR反射镜，传输矩阵中图分类号：TN25 文献标识码：AOptimized Designing and Analysis of the Reflectors in Resonant Cavity Enhanced Infrared Photodetectors ZHOU Yong, ZHANG Xiaoxia, WANG Shichao, WANG Xiangbin, CHEN Peiran, LENG Jie (School of Opto-electronic Information, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, Sichuan, China) Abstract: For the DBR mirror with half wavelength thickness in the top layer in top and bottom mirror, the idea of “absentee layer” in modem optical thin film technology is presented, and the theory analysis and explanation of it is also done. The reflectivity of the top and bottom mirror in real condition in the device is obtained and calculated by using matrix method. The relationship of the reflectivity, which is using different thickness in top layer of the DBR mirror, with the pairs of the Si-SiO2 layers and wavelength is simulated. And the theory of “absentee layer” is certified to be correct. The theory has great significance to design high-performance RCE Infrared photodetectors. Key words: Resonant Cavity, DBR Mirror, Transfer Matrix 0 引言 随着高速数据通信的迅猛发展，对高响应速度、高量子效率、窄光谱响应线宽的光电探测器的需求越来越大，波分复用技术作为光通信骨干网的支撑技术获得了人们的极大关注。解复用器件是波分复用系统与全光网络中的一个关键器件，目前普遍采用的解复用器件是由“解复用器件/滤波器+探测器”组合而成，这种分立方式存在很多缺点。为了解决分立器件带来的不便，人们开始研究集成解复用器件。 普通Si基探测器对超过1.1μm的长波长的光的灵敏度很低，国内外的研究者对此提出了很多解决办法[4][5][6][7]。Katsumi Kishino和M.Selim ünlü在1991年提出了谐振腔增强型（RCE）光电探测器结构[4][6]。谐振腔增强型光电探测器同时具有波长选择和吸收的功能，作为解复用器件得到了广泛的关注。RCE）光电探测器的反射镜一般是由高低折射率周期性变化的四分之一波长堆栈（QWS’s）构成[2]。对于Si基光电探测器来说，Si-SiO2层具有高的相对折射率，因此有高的反射率，是反射镜材料的最好选择[3]。 本文研究了Si基Ge吸收层 PIN谐振腔增强型光电探测器的特性。针对构成顶镜和底镜的DBR反射镜，引入了现代光学薄膜技术中“虚设层”的概念[9]，进行了详细的理论分析和说明。用传输矩阵法推导了DBR反射镜的反射率，并对其顶镜和底镜的反射率在真实器件的条件下进行分析计算，模拟仿真得到了采用不同的顶层厚度的DBR反