高gn值悬臂梁式硅微加速度传感器的结构设计-东南大学学报.PDF

第 卷第 期 ３０ ６ 东南大学学报（自然科 学版 ） Ｖｏｌ３０Ｎｏ６ 年 月 ２０００ １１ （ ） Ｎｏｖ．２０００ ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ  高 值悬臂梁式硅微加速度传感器的结构设计 ｇｎ 席占稳 赖百坛 （南京理工大学，南京 ２１００９４） 摘 要 针对高冲击加速度测量，分别就硅微加速度传感器等截面和变截面悬臂梁 在不同结构尺寸下的应力状况及固有频率进行了有限元数值模拟；对等截面和变截 面悬臂梁结构的灵敏度进行了分析比较和数值计算，结果都说明了采用变截面悬臂 梁结构，灵敏度可提高近３０％；对选择的变截面悬臂梁结构的加速度传感器其量程 为１００００ｇ，有足够的抗过载能力，且横向灵敏度足够小． ｎ 关键词 悬臂梁；压阻式加速度计；结构设计 分类号 ＴＨ７０３ 加速度传感器由 部分组成：一是弹性敏感元件，它将外界的加速度转换成机械变形量 ３ （如应力，应变）；二是实现电测量，即将机械变形量转化为电阻、电容、电感等变化量，由此实现 对加速度的测量；三是壳体及辅助结构． 压阻式加速度传感器是最早开发的硅微加速度传感器，弹性元件的结构形式一般是采用 硅梁外加质量块，质量块由悬臂梁支撑，并在悬臂梁上制作电阻，连接成测量电桥，在惯性力作 用下质量块上下运动，悬臂梁上电阻的阻值随应力的作用发生变化，引起测量电桥输出电压变 化，以此来实现对加速度的测量 质量块能够在较小的加速度作用下，使悬臂梁上的应力较大， ． 提高测量电桥的输出电压 在高 值加速度作用下，质量块可能会使悬臂梁变形过大，致使悬 ． ｇ ｎ 臂梁断裂，为此高 值加速度传感器弹性元件不外加质量块，梁的质量可作为惯性质量 其结 ｇ ． ｎ ［］ 构形式和压阻电桥的布置如图 所示 １ １ ． 为了提高悬臂梁的结构灵敏度，在加速度为 的加速度场内，尽量增大悬臂梁根部附近 ａ （电桥布置区域）的应力，为此可采用图 所示的变截面悬臂梁结构 ２ ． １ 弹性元件的结构设计 弹性元件的几何结构参数直接影响传感器的工作性能，因而必须对其结构尺寸进行必要 的分析和优化，进而获得最佳结构参数，以保证传感器有良好的设计性能． １１ 结构尺寸与应力分布 对图 所示的变截面悬臂梁在 方向加速度 作用下，梁 段沿 方向产生的应力为 ２ Ｚ ａ ｌ Ｘ 国防预研基金资助项目． 收稿日期： 第一作者：男， 年生，博士研究生，高级工程师 ２０００－０５－２２． １９６３ ． 东南大学学报（自然科学版） 第 卷 ４０