二氧化钛薄膜制备技术.docx

《材料制备技术》期末论文题目：二氧化钛薄膜的制备学院：物理科学与技术学院专业：材料物理姓名：曾瑞学号：20113012300192013年12月15日二氧化钛薄膜的制备专业：材料物理；姓名：曾瑞；学号：2011301230019选题背景及意义自从1972年Fujishima和Honda[1]发现光照TiO2半导体电极可以分解水制氢以来，开始了非均相催化的新纪元。从那时起，化学、物理学、化学工程学和材料学的专家们努力探索和了解半导体光催化的基本过程，研制新的光催化材料，使以半导体光催化为基础的材料研究和应用得到迅速发展。光催化材料领域涉及范围非常宽，包括材料、能源、环境和生命起源等。目前光催化研究大体分为：分解水和相关溶液制氢、太阳能电池、大规模污水处理、氮和碳的光化学固定、光催化环境净化材料、光催化有机、无机反应化学等。近年来，光催化在环境净化方面的研究和应用成为最活跃的领域，在实际应用中取得了激动人心的成果。众所周知，随着人类科学技术水平的提升，人们在享受方便与舒适的同时，也在大范围的破坏人类赖以生存的环境，大气污染、河流海洋污染、资源枯竭、极端天气的出现等等，无不给我们敲响了警钟。面对世界环境问题的日益严重，人们一直在研究、寻找治理环境污染的办法，尤其是最近几十年人们的目光专注于研究新型的污染治理技术。二氧化钛由于独特的光物理和光化学性质，在光学材料、光电化学和光电池、光催化降解有机物方面有广泛的应用前景，引起了人们很大的兴趣。90年代，纳米材料科学的兴起，为以二氧化钛为对象的基础理论和应用基础研究注入了新的研究内容。由于纳米粒子的量子尺寸效应、表面效应等使得二氧化钛纳米材料的结构和性质都与常规二氧化钛有很大区别。TiO2光催化材料的应用形式主要分为悬浮型粉体和负载型薄膜两类。TiO2粉体易团聚，难回收等缺点限制了其催化活性的进一步提高，1987 年，Matthews首次提出采用TiO2薄膜光催化分解有机物。负载型TiO2薄膜能有效克服粉体材料易聚集、难回收的问题；可以较为便捷地实现在玻璃、陶瓷、金属等不同基材上的负载；而且对于透明的薄膜，还能有效利用光线。因此，二氧化钛纳米薄膜以其特殊的性质，特别是作为光物理材料，环境污染治理中的光催化氧化催化剂有着广泛的应用前景而引起人们的广泛兴趣。二、二氧化钛的介绍TiO2是一种多晶型化合物，在自然界中有三种常见的晶型，即锐钛矿（anatase）、金红石（rutile）和板钛矿（brookie）。与金红石相比，锐钛矿和板钛矿颗粒热稳定性较低。在加热的情况下可以观察到锐钛矿和板钛矿向金红石相的转变。锐钛矿在室温下较稳定，板钛矿极不稳定， 因此在工业应用上主要涉及锐钛矿型和金红石型。金红石和锐钛矿型TiO2都属于四方晶系，但因其晶型不同，TiO2晶体结构的差异使不同的TiO2之间具有不同的质量密度、电子能带结构和稳定性等，其所具有的物理和化学特性也有所不同。[2]TiO2是一种宽带隙半导体，具有较大的禁带宽度（3.2 eV，锐钛矿）。由于半导体的光吸收阈值与带隙满足λg（nm）＝1240/Eg（eV）的关系，当入射光的波长小于半导体光吸收阈值时，半导体的价带电子将会跃迁到导带，产生电子和空穴。随后光生电子可以与表面吸附的O2反应生成·O2－、·HO2、H2O2和·OH等活性物质，而光生空穴则与表面吸附的H2O或OH-离子反应生成羟基自由基·OH。这些活性物质可与绝大部分有机物反应，使其发生分解。此外，由于锐钛矿型TiO2光生空穴电势大于3.0eV，比氯气、臭氧、高锰酸根等的电极电势还高，具有很强的氧化性，成为了TiO2光催化分解有机污染物的又一途径。因此，TiO2光催化在污水处理、空气净化、消毒杀菌等方面有着广阔的应用。[3]三、制备方法TiO2薄膜有很多的制备方法，不同方法所制备的薄膜有不同的结构和性质，同一种方法，不同的制备条件得到的膜的形态也不一样。根据不同材料的薄膜需选用合适的方法来制备，这样才能制得所需性能的薄膜。TiO2薄膜的制备大体上分为物理方法和化学方法两类[4]。常用的化学方法有脉冲激光沉积（PLD）法、化学气相沉积（CVD）法、化学液相沉积（CLD）法和溶胶——凝胶（Sol-Gel）法等；物理方法主要应用物理气相沉积（PVD）法等。本人感兴趣的主要是物理气相沉积中的磁控溅射法，主要基于以下几点考虑：①物理方法与我们上课学过的内容相关，化学的方法不是我们课程的重点；②磁控溅射法中可以直接以纯净的二氧化钛作为靶材，而不需要纯度非常高的Ti作为靶材，因而节省了时间，减少了能耗，这对于实际生产中是十分重要的；③溅射法可在大面积基底上制膜,且所制薄膜的厚度均匀,是制备薄膜非常有用的技术。因此，这里只对磁控溅射进行较为具体的介绍说明 。磁控溅射是溅射镀膜的一种改进，下面主要介绍磁