半绝缘砷化镓单晶中深能级EL2浓度的红外吸收测试方法编制说明.DOC

国家标准《半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法》 （送审稿）编制说明 一、任务来源及计划要求 根据国家标准化管理委员会2012年国家标准制修订计划安排，《半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法》（项目代号T-496）国家标准,由信息产业专用材料质量监督检验中心负责牵头修订，该项国家标准编制周期为2012年至2014年。 二、编制过程（包括编制原则、工作分工、征求意见单位、各阶段工作过程等） 信息产业专用材料质量监督检验中心2012年1月成立了信息产业专用材料质量监督检验中心天津市环欧半导体材料技术有限公司在国内广泛调研信息产业专用材料质量监督检验中心的基础上，于20年月完成了标准稿2013年月日，由全国标准化技术委员会材料分会组织，在酒店召开《》标准会，共有等个单位位代表参加了本次会议。会议就由、共同主要起草的《》标准进行了热烈讨论。参会代表对标准进行了逐条审查，对该标准的技术要点和内容进行了充分的讨论，2013年月，有研光电新材料有限责任公司2013年月日，由全国标准化技术委员会材料分会组织，在召开《》标准，共单位位代表参加了本次会议。会议就由、共同主要起草的《》标准进行了热烈讨论。参会代表对标准进行了逐条审查，对该标准的技术要点和内容进行了充分的讨论，~2mm厚度试样的解理制样方法； 图1 窄条试样示意图 注释：E和S-两平行解理面； d-原始试样厚度； L-试样测量厚度。 5）单个实验室精密度试验 对样品厚度为3.28mm，电阻率为4.5×107Ω.cm，双面磨抛的试样进行了单个实验室精密度试验，获得的单一实验室碳浓度测量精密度为0.33%，详见表1。 表1 单个实验室的10次测试结果 测试项目 测量次数 EL2浓度 (1016 atoms/cm3 平均值 (1016 atoms/cm3 标准偏差 (1015 atoms/cm3 相对标准偏差 % EL2 1 1.43 1.43 4.70 0.33 2 1.43 3 1.44 4 1.43 5 1.43 6 1.44 7 1.43 8 1.43 9 1.43 10 1.43 6）多个实验室精密度试验。 对厚度为3.28mm，电阻率为4.5×107Ω.cm，双面磨抛的试样，进行了3个实验室比对测量试验。3个实验室所测得的EL2浓度的数值分别为1.39(1016 atoms/cm3、1.43(1016 atoms/cm3、1.47(1016atoms/cm3，平均值为1.43(1016 atoms/cm3,标准偏差为3.27(1014 atoms/cm3，多个实验室碳浓度测量精密度为2.29%。 五、与国外同类标准水平的对比分析 本标准达到SEMI M64-0306等国外先进标准水平。 六、与现行法规、标准的关系 对原标准的修订仅涉及技术内容，与现行法规和标准协调一致。 标准征求意见的处理经过和依据 详见标准意见处理汇总表。 八、作为强制性或推荐性国家标准的建议 本标准可替代GB/T 17170-1997标准，建议作为推荐性国家标准颁布实施。 九、贯彻标准的要求和措施的建议 本标准对“应用范围”和“样品制备要求”等进行了修订，请使用者注意。本标准未涉及专利问题。 信息产业专用材料质量监督检验中心 二O年月 ”改为“EL2深能级” 预审定会 采 纳 4 5.2 5.2中明确试样面积应大于光阑孔径，另外6.2中删除“具有可调功能” 预审定会 采 纳 5 7 测试环境温度改为24℃±1℃ 预审定会 采 纳 6 11 精密度中加入再现性的试验结果 预审定会 采 纳 7 附录A 附录A需重新编辑 预审定会 采 纳 2