无尘室节约能源技术手册.PDF

摘要 台灣無塵室的數量越來越龐大，而在各個產業的使用上也越來越廣泛。其中，以 半導體相關無塵室所佔的比重最多，超過了一半以上。改善無塵室的耗能，不但可節 省能源，亦可節省成本，進而提高產品競爭力。本手冊首先將介紹無塵室的基本概念， 然後是說明無塵室的耗能狀況與耗能原因。接下來將提出無塵室的各項節能措施，最 後再附上無塵室節能的實際案例。 產業照明系統節能技術手冊 目錄 一、前言 1 二、無塵室簡介 2 2.1 無塵室的工作原理 2 2.2 無塵室潔淨等級標準2 2.3 無塵室污染物來源 4 2.4 無塵室之分類5 三、無塵室驗證測試6 四、無塵室的能源消耗 8 五、無塵室節能措施 10 5.1 無塵室的設計面節能措施 10 5.2 無塵室的運轉面節能措施 11 六、無塵室節能範例 13 七、結語 14 一、前言 一、前言 為了不使產品在製造過程中受到如灰塵或微生物等污染物的影響，進而造成產品 良率下降，因此某些製程必須在一個無塵的環境下才能進行，於是有了無塵室的概念。 舉凡半導體產業、光電產業、微機電產業、生技醫療器材產業及製藥業等皆需要 建置無塵室。而且有越來越多的產業使用無塵室製程，不過目前還是以半導體製造業 使用得最普遍。如圖 1 所示，所有使用無塵室的產業中，半導體無塵室佔了全國無塵 室使用樓板面積的 61%。此處的半導體製造包含了晶圓代工、TFT-LCD、通訊及深 次微米製程等。由於維持無塵室的潔淨必須耗費非常多的能量預防及排除污染物，因 此如何在產品製程良率的要求下又能降低無塵室的耗能便成為一個需要正視的問 題。但是，由於目前台灣低廉的電價政策，半導體廠能源費用僅佔生產成本的 5%不 到，使得半導體廠往往忽略節能。不過，根據 ISMI 調查，若全球半導體業採取適當 節能措施，則每年約可節電 48 億千瓦，足夠 17.7 萬個家庭使用。所以，如何降低 無塵室的耗能仍將是國內工業節能很重要的一環。 圖 1 使用潔淨製程的產業分佈 1 二、無塵室簡介 2.1 無塵室的工作原理 無塵室又稱潔淨室，是指為了控制空間中的污染物而建造的一個封閉性建築。此 處的污染物包括空氣中的灰塵、微生物、懸浮顆粒和化學揮發性氣體。此外，一般無 塵室也會對溫濕度、氣流運動模式與震動噪音等因素做控制。 至於無塵室工作原理，所使用的手段不外乎引進新鮮潔淨空氣進行稀釋、氣流運 動帶走微塵與濾網濾除污染物等方式達到控制空間中污染物的目的。 2.2 無塵室潔淨等級標準 無塵室雖然號稱無塵，但是事實上還是有程度上的差別。無塵室的潔淨程度基本 上是靠金錢堆積出來的。基於錢必須花在刀口上的理由，並不是所有無塵室都需要無 止境的追求高潔淨度，而應是追求合理的潔淨度即可。至於無塵室潔淨等級的標準， 目前國際上看到的有美國聯邦標準 Federal Standard 209E、國際標準 ISO 14644、 日本潔淨標準 JIS B9920、德國潔淨標準 VDI 2083 以及俄國潔淨標準 Gost-R 50766 等。在這些標準中，最常被提及的是美國聯邦標準 Federal Standard 209E 和國際標 準 ISO 14644。 Federal Standard 209E (Fed-Std-209E)採用的是英制單位。美國雖然已於 2001 年取消此