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应用光伏学 第5章 硅太阳能电池制造技术

拥有完整丝网印刷的太阳能电池的正面图。由于电池是由多晶硅制造的,晶粒的不同界面取向清晰可见。多晶硅电池的正方形形状使电池的组装变得简化。 § 5.4.1 硅太阳能电池的制造技术 丝网印刷太阳能电池 § 5.4.1 硅太阳能电池的制造技术 丝网印刷太阳能电池 拥有完整丝网印刷的太阳能电池的背面图。电池要么是由Al/Ag粘贴成网格(左),要么全部由铝构成并形成背面电场(右),但是需要第二道印刷工序。 下面的几幅图将向你展示商业丝网印刷太阳能电池的制造设备。全部图片承蒙欧洲太阳能公司SPA提供。 制造的多晶硅锭的结晶炉。大面积硅板,大约0.5mx0.5m,20cm厚。精确控制冷却液体,能够制造出大晶粒少缺陷的的硅材料。 从结晶炉出来的大块多晶硅锭被切割成10cmx10cm的小砖块。然后小砖块又被切割成同样面积的薄片。 § 5.4.2 硅太阳能电池的制造技术 制造太阳能电池 欧洲太阳能公司的生产线。虽然太阳能电池制造需要处在洁净的环境中,但是比起集成电路芯片的制造环境来,还是较为宽松一些。因此不需要员工穿上全套洁净服。 上图为自动上料的扩散炉以及已经掺杂了磷的硅晶片。点击图片能转换不同图片。需要注意的是,图中即将进入右边扩散炉的晶片都是出自同一块硅锭,它们拥有相似的晶粒分布。 § 5.4.2 硅太阳能电池的制造技术 制造太阳能电池 * UNSW新南威尔士大学 * 自动上料的扩散炉。使用机器人设备能够提升电池制造的可靠性,并降低成本。 丝网印刷的生产线。点击图片能进距离观察蓝色塑料屏下的丝网印刷过程。 § 5.4.2 硅太阳能电池的制造技术 制造太阳能电池 先进的丝网印刷机器,使用摄像机来快速准确地排布金属电极网的图案。 在完成每个电池的效率测量工作后,对它们进行排序以尽量减小模块错配。用鼠标点击图片观看另一幅图片。 § 5.4.2 硅太阳能电池的制造技术 制造太阳能电池 * UNSW新南威尔士大学 * 在进行压片之前排列电池片。 § 5.4.2 硅太阳能电池的制造技术 制造太阳能电池 埋电极太阳能电池(如图)是一种高效率的商业用太阳能电池,其特点是把金属电极镀到激光形成槽内。埋电极技术克服了丝网印刷电极的许多缺点,这也使得埋电极太阳能电池的效率能达到25%,比商业丝网印刷电池要高。 * UNSW新南威尔士大学 * 埋电极太阳能电池,激光刻槽的横截图。 氧化物 背金属电极 § 5.4.3 硅太阳能电池的制造技术 埋电极太阳能电池 § 5.4.3 硅太阳能电池的制造技术 埋电极太阳能电池 为了看得更清晰,动画中的电池厚度被扩大了。 下面的动画展示了激光刻槽埋电极太阳能电池的制造工序。 § 5.4.3 硅太阳能电池的制造技术 埋电极太阳能电池 1、埋电极大大增加了金属栅条的高-宽比例,具有良好的减反射特性。 大的高-宽比意味着能够在接触电极中使用大量的金属,而不需要在表面铺上宽大的金属条。因此,金属栅条的大高-宽比允许窄的栅条间距(20um宽),同时保持高的透明度。 部分激光刻槽的横截图 大面积器件,采用丝网印刷电池,其被阻挡的光就可能达到10%到15%,而使用埋电极结构,则其损失就只有2%到3%。这样低的光损失能降低光反射并因此提高短路电流。 * UNSW新南威尔士大学 * 2、埋电极电池技术还能降低寄生电阻损耗,因为它的金属栅条具有高的高-宽比、栅条的间距适当,以及良好的金属电极材料。 (1)之所以埋电极能减少电池的发射区电阻,是因为栅条之间的距离越窄,发射区的电阻损耗也越小。 (2)金属网格的电阻也减小了,因为在激光刻槽中使用的金属量大大增加了,且金属还是电阻率比铝低的铜。 (3)在半导体-金属交界面处形成镍硅化物以及它们交界面积的扩大,使得埋电极的接触电阻也比丝网印刷电池的小。 总的来说,这些电阻损耗的减小使得大面积电池拥有高的填充因子。 § 5.4.3 硅太阳能电池的制造技术 埋电极太阳能电池 3、与丝网印刷相比,埋电极电池的金属化方案同样提升了发射区的性能。 为了尽量减少电阻损耗,要对丝网印刷电池的发射区进行重掺杂,而这也导致了电池表面“死层”的出现。 因为埋电极结构的发射区电阻很小,所以能够通过优化发射区的掺杂来获得高开路电压和短路电流。 * UNSW新南威尔士大学 * § 5.4.3 硅太阳能电池的制造技术 埋电极太阳能电池

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