mems交叉梳齿光栅设计和优化 design and optimization of the mems interdigitated-comb grating.pdfVIP

MEMS与传感器 MEMS交叉梳齿光栅设计和优化 张 恒1“，姚 军1，庄须叶1，陶逢刚1’2，汪为民1 (1．中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，成都610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100049) 摘要：采用MEMS技术设计和制造了一种由梳齿驱动器驱动的新型交叉梳齿光栅，同时优化了 该光栅的驱动器结构，着重分析了优化驱动器结构对光栅机械特性和光学传感特性的影响，优化 后的光栅相对于未优化时具有更大的位移、更好的光学传感特性。基于PolyMuMPs工艺制作 了梳齿驱动器驱动交叉梳齿光栅，并逐步分析了该光栅的加工步骤。结合有限元分析软件，对该 MEMS光栅的机械特性进行了分析。分析结果表明，在85V下，该光栅驱动器的位移为 2．7pm，而实际测量的位移为2．1pm。通过对该光栅驱动器结构进行优化，得到在同等电压下 优化后的光栅驱动器位移较未优化时有显著提高，在85V时，优化后的MEMS光栅驱动器的位 移为4．3弘m。根据傅里叶光学理论计算得到，该光栅的传感灵敏度与驱动器位移成正比，经过 计算得到优化后MEMS光栅的光学传感曲线更加陡峭，具有更好的传感特性。 关键词：MEMS交叉梳齿光栅；光学传感特性；位移；优化；传感灵敏度 and oftheMEMS DesignOptimization Interdigitated-CombGrating ZhangHen91’2，Yao Xuyel，Tao Weiminl Junl，Zhuang Fenggan912，Wang ‘、．Stnte and KeyImborQtorofOptic4lTechno￡ogiesforMicrofabrica￡ion，lnstituteofopttcs 战P“rD行if5，吼i行已sPAfndPmyo，SfiPnfPs，c^Pn∥“610209，mi行口；2．Grnd枷抛洳iwH咖 C^i行P5P 100049，C^i咒口) o，￡^P AfndPmyD，SciP竹cPs·BP巧i竹g Anew actuatedthecombactuatorwas fa— Abstract： and interdigitated—combgrating by designed bricatedmicro_electro-mechanical structureoftheactuator by systems(MEMS)technoIogy．The was basedonthe fortheeffectofthe structureon optimized analysis optimized themechanical and In tothe the propertyopticalsensing structure， property．comparisonnon—optimized