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- 2017-08-27 发布于上海
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odf真空贴合系统研究 research on odf vacuum align system
刘亮等:ODF真空贴合系统研究
文章编号:1006—6268(2012)11-0034-04
OD
F真空贴合系统研究
刘亮,杨国波,赵德友。王永茂。于翔,龚娟
(成都京东方光电科技股份有限公司Cell技术部。IⅡlJll成都611731)
单元、基板吸附单元和基板对位单元及其发展。
关键词:液晶滴下;真空贴合系统;吸附单元;精密对位单元
中图分类号:TB79 文献标识码:B
on
ResearchODFVacuum
System
Align
LIU Guo-bo,ZHAO Juan
Liang,YANG De-y
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