Si表面规则纳米结构AFM阳极氧化研究.pdfVIP

VoL 40 No.7 第40 卷第7 期 哈尔滨工业大学学报 2008 年7 月 JOURNAL OF HARBIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY July 2∞8 Si 表面规则纳米结构 AFM 阳极氧化研究 闰永达，张静，孙涛，梁迎春，董中 (哈尔滨工业大学机电学院，哈尔滨 15α阳，E-mail: spm@hit. edu.cn ) 摘 要:为了研究如何采用 AFM 探针阳极氧化方法在大范围内加工高精度纳米结构，采用 AFM 与精密工 作台结合建立了一套新型纳米加工系统.该系统中，采用导电探针静止的工作方式，通过 AFM 系统对其进行 垂直表面方向的调节，使探针跟踪表面以及表面产生氧化反应.工作台由外控计算机控制作复杂运动，可以 实现矢量和点阵两种加工方法.实验表明:该系统消除了 AFM 本身扫描陶管由于非线性、迟滞等因素影响其 大范围内重复性定位精度不高的缺点.大气环境下，在 N 型硅(lll )表面进行了阳极氧化的实验，得到了探 针和样品之间的偏压，加工速度和脉冲时间对氧化物高度的影响规律以及加工纳米线时的极限速度为 ω μνs. 因此，在本文开发的纳米加工系统上采用阳极氧化的方法可以在大范围内加工出复杂纳米结构如线 型结构以及复杂的汉字. 关键词: AFM; 阳极氧化;硅;纳米加工 中图分类号: TN16 文献标识码:A 文章编号: 0367 -6234(2∞8 )07 -1055 -04 Fabrication of regular nanostructures on the surface of Si by AFM anodic oxidation YAN Yong-da , ZHANG Jing , SUN Tao , LIANG Ying-chun , DONG shen (School of Mechatronics Engineering , Harbin Institute of Technology , Harbin 15仪削，China , E-mail: spm@hit. edu.cn ) Abstract: To study the fabrication of nanostructures with high precision in a large scale using AFM anodic oxi- dation , a novel nanomachining system integrating AFM with a high precision stage was developed. 叽le AFM conductive tip was still and the tip motion perpendicular to the sample surface was adjusted by AFM control system. Thus the tip can trace the sample surface and the sample surface can be oxidized. The stage was con- trolled by an outer computer to perform complex motions. Two types of motion can be realized based on this system: the vector motion and the lattice motion. Results show that the shortcoming of low accuracy of repeti- tive positioning withi