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微束分析 – 电子探针显微分析 (EPMA) – 术语 （国家标准草案 ） National Standard Draft on Microbeam Analysis - Electron Probe Micro Analysis (EPMA) —— Vocabulary  目录 Contents 前言 ………………………………………………………………………………………………… 导论 ………………………………………………………………………………………………… 范围 Scope ……………………………………………………………………………………… 标准性引用文件 Normative references ………………………………………………………… 缩略语 Abbreviations …………………………………………………………………………… 电子探针微分析用一般术语定义 Definitions of general terms used in Electron Probe Microanalysis ……………………………………………………………………………… 用于描述电子探针微分析仪器的术语定义 Definition of terms used to describe EPMA instrumentation ……………………………………………………………………………… 用于电子探针显微分析方法的术语定义 Definition of terms used to describe EPMA methodology ………………………………………………………………………………………. 前言 本国家标准是微束分析技术领域中为了适应电子探针显微分析（EPMA）标准化实践的基本需要而第一个制定的术语标准。扫描电子显微镜（SEM），分析电子显微镜（AEM），X-射线能谱（EDS）等其他领域的术语标准也会相继制定。 本国家标准与国际标准化组织微束分析技术委员会术语分委员会（ISO/TC202/SC1）由中美两国联合提出，共同负责制定的ISO 23833 国际标准同步制定，协调一致。 本国家标准没有代替或废除其他文件的全部或部分。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会归口。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会起草。 本标准主要起草人： 林卓然、李香庭、李 戎、朱衍勇、庄世杰、柳得橹 导论 本国家标准是为了适应电子探针显微分析（EPMA）标准化实践中术语定义的基本需要而制定的。电子探针显微分析（EPMA）是微束分析技术中一个应用极为广泛的领头领域，是在高技术产业、基础工业、农业、冶金、地质、生物、医药卫生、环境保护、商检贸易乃至刑事法庭等行业中需要通过各种材料或产品的微米尺度成份和结构分析来进行质量管理和质量检验所不可缺少的技术手段。 电子探针显微分析（EPMA）是一门综合性的技术，涉及物理、化学、电子学等广泛术语。本国家标准只限于定义电子探针显微分析（EPMA）标准化实践中使用和直接有关的术语，其内容包括： 电子探针显微分析用一般术语定义 用于描述电子探针显微分析仪器的术语定义 用于电子探针显微分析方法的术语定义 微束分析- 电子探针显微分析（EPMA） - 术语 1 范围 Scope 本国家标准定义了电子探针显微分析（EPMA）实践中使用的术语，包括一般概念的术语和按技术等级分类的具体概念的术语。 本国家标准适用于所有有关电子探针微分析（EPMA）实践的标准化文件，部分适用于相关领域（例如；扫描电子显微镜（SEM），分析电子显微镜（AEM），X-射线能谱仪等）的标准化文件，用于定义共用的术语。 2 缩略语 Abbreviations BEI backscattered electron image 背散射电子像 CRM certified reference material 有证标准物质 EDS energy dispersive spectrometer能谱仪 EDX energy dispersive x-ray spectrometry 能谱法 EPMA electron probe microanalysis or electron probe microanalyzer 电子探针显微分析或电子探针显微分析仪 eV electron volt 电子伏特 keV kilo electron volt 千电子伏特 SEI secondary electron image 二次电子像 SEM scanning electron microscope 扫描电子显微镜 WDS wavelength dispersive spectrometer波谱仪 WDX wavel