剌博200791014097.doc

本科毕业论文（设计） 题　 目 真空的获得与测量 学生姓名　 　 剌 博 博 专业名称　　 物　理　学 学 指导教师　　 岳 喜 成 成 2011年5月20日 目 录 一 论文正文 引言 1 1.真空的概念 1 1.1真空 1 1.2真空度及真空区域的划分 1 1.3真空系统 2 2.真空技术的发展 2 3.真空的获得 3 3.1真空泵的基本原理 3 3.2真空泵的分类 4 3.2.1机械泵 4 3.2.2油扩散泵 5 3.2.3蒸汽式喷射泵 6 3.2.4水环真空泵 7 3.2.5无油干式机械真空泵 9 3.2.6 油封式真空泵 10 4真空的测量 13 4.1热偶真空计 13 4.2电离真空计 13 4.3 U型压力计 15 4.4高频电火花真空测定仪（又叫检漏仪） 15 4.5 定容法测机械泵的有效抽速 16 5真空的应用 17 5.1真空在电真空器件中的应用 17 5.2真空在镀膜工业中的应用 17 5.3 真空过滤和真空浸渍中的应用 18 6 真空的检漏 19 7.真空科学发展前景展望 19 参考文献 20 谢辞 21 二 附录 宝鸡文理学院本科毕业论文（设计）任务书 22 宝鸡文理学院本科毕业论文（设计）中期检查报告 25 宝鸡文理学院本科毕业论文（设计）指导教师指导记录表 27 宝鸡文理学院本科毕业论文（设计）结题报告 29 宝鸡文理学院本科毕业论文（设计）成绩评定及答辩评议表 32 宝鸡文理学院本科毕业论文（设计）答辩过程记录（附页） 34 真空的获得与测量 摘要：通过对真空及相关概念的描述及真空技术的发展的整体回顾，重点介绍真空的获得与测量的基本方法以及在真空的获得与测量中所需要的设备和仪器，并对真空的未来作了展望。用直观的展示真空的获得与测量系统 ,掌握四种真空规测量不同的真空度的使用方法，及使用抽气机抽吸、用特殊的吸气剂吸取、用冷凝剂捕获气体。 关键字：真空的获得 ；真空的测量； 真空应用； 真空发展 Acquisition and measurement of vaccume Abstract: Through the void and related concepts described and vacuum technology focuses on the overall review, the vacuum with the basic way to measure and the vacuum have the necessary equipment and apparatus and the vacuum future for the future. with an intuitive to show the vacuum with the measurement system, the mastery of three kinds of measurement of a vacuum which the directions, and the use of smoke touted as a special smoke, inhale from being an agent, the gas. Keyword: Vacuum to obtain ；Vacuum Measurement ； Vacuum applications； Development of vacuum 目 录 引言 1 1.真空的概念 1 1.1真空 1 1.2真空度及真空区域的划分 1 1.3真空系统 2 2.真空技术的发展 2 3.真空的获得 3 3.1真空泵的基本原理 3 3.2真空泵的分类 4 3.2.1机械泵 4 3.2.2油扩散泵 5 3.2.3蒸汽式喷射泵 6 3.2.4水环真空泵 7 3.2.5无油干式机械真空泵 9 3.2.6 油封式真空泵 10 4.真空的测量 13 4.1热偶真空计 13 4.2电离真空计 13 4.3 U型压力计 15 4.4高频电火花真空测定仪（又叫检漏仪） 15 4.5 定容法测机械泵的有效抽速 16 5.真空的应用 17 5.1真空在电真空器件中的应用 17 5.2真空在镀膜工业中的应用 17 5.3 真空过滤和真空浸渍中的应用 18 6. 真空的检漏 19 7.真空科学发展前景展望 19 参考文献 20 谢辞 21引言 泛指低于一个大气压的气体状态。目前，真空技术在近代尖端科学技术，如高能粒子加速器、大规模集成电路、表面科学、薄膜技术、材料工