第六章电子束和离子束加工特种加工课件gbi.pptVIP

§6 电子束和离子束加工 §6 电子束和离子束加工 §6.1 电子束加工 §6.1.1 电子束加工的原理和特点 §6.1.2 电子束加工装置 §6.1.3 电子束加工的应用 §6.1.1 电子束加工的原理和特点 电子束加工原理 在真空条件下，利用聚焦后能量密度极高的电子束，以极高的速度冲击到工件表面极小面积上，在极短时间内，能量的大部分转化为热能使材料局部熔化和气化，被真空系统抽走。 §6.1.1 电子束加工的原理和特点 控制电子束能量密度的大小和能量注入的时间，可以达到不同的加工目的：电子热处理、电子束焊接、打孔切割、电子束光刻等。 §6.1.1 电子束加工的原理和特点 电子束加工特点 电子束可以微细地聚焦（可达0.1微米），是一种精密微细的加工方法。 能量密度高，生产效率高。 是非接触式加工，不产生应力和变形，加工材料范围广（脆性、韧性、导体、非导体）。 可以通过电场或磁场对电子束的强度、位置、聚焦等直接进行控制，整个加工系统易实现自动化。 污染少，表面不氧化，特适合加工易氧化的材料。 整个加工系统价格较贵，生产中受到一定的限制。 §6.1.1 电子束加工的原理和特点 §6.1.2 电子束加工装置 §6.1.2 电子束加工装置 §6.1.2 电子束加工装置 电子枪——获得电子束的装置 §6.1.2 电子束加工装置 控制系统 束流聚焦控制（电磁透镜）、束流位置控制（电磁偏转）、束流强度控制、工作台位移控制（适合大面积加工）。 电源 电子束加工对电源电压稳定性要求较高，需要稳压设备。 §6.1.2 电子束加工装置 电磁透镜的聚焦作用 电子束在前进过程中切割电磁线圈产生的径向磁场而产生圆周运动； 电子束在圆周运动时切割电磁线圈产生的轴向磁场而产生径向（向心）运动； 电子的合成运动为半径越来越小的空间螺旋线 §6.1.3 电子束加工的应用 高速打孔 最小直径为0.003mm 在厚度为0.1mm厚的不锈钢上加工直径为0.2mm的孔，每秒可加工3000个 在人造革上利用电子束打大量微孔，使其具有真皮革同样的透气性 §6.1.3 电子束加工的应用 加工型孔和特殊表面 异型孔 人造纤维喷丝头异型孔 窄缝宽度0.03~0.07mm，轮廓0.8mm 曲面、弯孔 §6.1.3 电子束加工的应用 焊接 电子束能量密度高，焊接速度快，焊缝窄而深，焊件热影响区域小，变形小。 焊接过程在真空中进行，焊缝化学成分纯净，焊接接头强度往往高于母体。 能够完成一般焊接方法难以实现的异种金属焊接，能够实现将复杂的工件分成几个零件，各自选取最合适的材料和方法进行加工，最后利用电子束焊接成完整工件，从而获得理想的技术性能和经济效益。 §6.1.3 电子束加工的应用 焊接 §6.1.3 电子束加工的应用 热处理 电子束热处理与激光热处理相似，适当控制电子束的功率密度，使金属表面加热而不熔化。电子束的电热转换率可达90%（激光热处理的转换率只有7~10 % ） 电子束加热金属达到表面熔化，在熔化区添加元素，使金属表面形成一层很薄的合金层，获得更好的物理力学性能。 §6.1.3 电子束加工的应用 光刻 §6.2 离子束加工 §6.2.1 离子束加工的原理、分类和特点 §6.2.2 离子束加工装置 §6.2.3 离子束加工的应用 §6.2.1 离子束加工的原理、分类和特点 离子束加工的原理 在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速、聚焦，使之冲击到工件表面。 离子带正电荷，其质量比电子大几个数量级，所以离子在加速到较高速度时，离子束比电子束具有更大的冲击动能，它是利用微观的机械冲击能量，而不是靠动能转化为热能来加工的。 §6.2.1 离子束加工的原理、分类和特点 离子束加工的物理基础 离子束射到材料表面时发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。 §6.2.1 离子束加工的原理、分类和特点 离子束加工的分类 离子刻蚀 离子溅射沉积 离子镀 离子注入 §6.2.1 离子束加工的原理、分类和特点 刻蚀加工 0.5~5KeV 原子级剥除，纳米级精度 效率低，原子剥离速度大约每秒钟一层到几十层原子 §6.2.1 离子束加工的原理、分类和特点 溅射沉积（镀膜） 0.5~5KeV §6.2.1 离子束加工的原理、分类和特点 离子镀 镀膜前，离子束对基体表面轰击清洗掉污垢和氧化物，提高其附着力。 镀膜刚开始，溅射出来的基体原子与空气中的靶材原子、离子相撞击而返回工件表面，形成混合过渡膜层，增强了基材与膜材的结合力。 §6.2.1 离子束加工的原理、分类和特点 离子注入 5~500KeV 注入的离子固熔在工件材料中，含量可达10%~40%，深度可达1微米 起到了改善金属表面性能（机械物理和化学性能）的功效。 §6.2.1 离子束加工的原理、分类和特点 离子束加工的特点 最精密、最细微的特种