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碳化硅在大功率电力电子器件中的应用 摘要：功率半导体器件是电子技术的关键元件。与硅功率器件相比，碳化硅功率器件能够更高的电压，具有更低的寄生，更短响应时间。开关速度不但而且能够更小的变压器和电容器，大大减小了系统的整体尺寸和质量。而且，碳化硅的耐高温特性大降低，因此，碳化硅器件有望从本质上提高电力效率。本文对碳化硅材料特性做简单的介绍，进而深刻解碳化硅器件的物理和电气特性的电气特性和初步应用等问题 关键词：电力电器件，碳化硅，引言 碳化硅(SiC)的优异特性随绿色经济的兴起。在提高电力利用效率中起关键作用的是电力电子功率器。如低功率器的能耗已成为全球性的重要课题。同时，借助微电技术发展，以器件为基础电力功率的开关性能已随其结构设计和制造完善而接近其由材料特性决定理论极限，依靠硅器件继续完善(工作温度和环境温度)、抗辐射、具有较高的击穿电压和工作频率，适于在恶劣条件下工作。与传统的硅器件相比，日前已实用的SiC器件可将功耗降低一半，由此将大大减少设备的发热量，从而可大幅度降低电力功率变换器的体积和重量。但由于其制备工艺难度大，器件成品率低，因而价格较高，影响了其普通应用。近几年来，实用化和商品化的碳化硅肖特基势垒功率二极管，以其优良特性证实了半导体碳化硅在改善电力电子器件特性方面巨大的潜在优势。最近，Cree公司报道了耐压近2000V、电流大于100A、工作温度高于200℃的晶闸管[