教程之三1-二氧化碳激光器.docVIP

二氧化碳激光器 王瑞延 徐世璞 付百泉 编写 目录 二氧化碳激光器 1 第一章 光学基础 1 第二章 激光 5 第三章 激光器组成 5 第四章 激光器的工作方式 6 第五章 激光束模式 6 第六章 激光器分类 9 第七章 二氧化碳激光器 10 一 快速轴流CO2激光器 13 二 横流CO2激光器 14 三 扩散冷却CO2激光器 15 四 激光谐振腔 17 五 激光束聚集 18 第八章 几种典型的激光器产品 19 一 CP4000激光器 20 二 Rofin激光器 20 三 PRC激光器 21 光学基础 光波实质上是电磁波，最简单的形式就是单色线偏振在自由空间传播。电场和磁场是按正弦规律变化的。如图1。 图 1 电磁波 单色光：只有一种颜色的光就是单色光，即单一波长，波带比较窄。 电场和磁场互相垂直，按相同的方向传播。而非偏振光的电场和磁场相位之间是随机的，没有固定的相位关系。 光波是一种横波，它的光矢量是与传播方向垂直。如果光波的光矢量方向始终不变，只是大小随相位改变，这样的光叫线偏振光。如果光矢量的大小保持不变，而它的方向绕传播方向均匀的转动，其末端轨迹是个圆，这样的光叫圆偏振光。如果光矢量的大小和方向都在有规律的变化，光矢量末端沿着一个椭圆转动，这样的光叫椭圆偏振光。 激光器发出的光通常是线偏振光或非偏振光，也可以在外部增加光学元件来产生圆偏振光。圆偏振光在激光材料加工中非常有用，尤其是金属材料的切割。 因为S光在金属表面的反射比P光大得多，当加入一个90°的圆偏振镜，如果S光和P光的振幅相等，它们之间会产生90°的相位差或相位差等于四分之一波长，线偏振光就转变为圆偏振光。 几何光学的光线是按理想的直线传播，即折射和反射。折射率 n=c/v 其中c是光在真空中的传播速度，大约3×108米/秒；v是光在介质材料中的传播速度。 因为光在介质材料中的传播速度小于在真空中的传播速度。因此，n是大于1的实数。 当光线入射到两种不同折射率介质的界面时，假定是镜面反射，镜面的粗糙度小于光波波长的平方根，光线将发生折射和反射，如图2。 图 1反射 如果镜面的表面粗糙度相当于波长时，入射角和反射角就是随机的，将出现“散射”或漫反射，如图3。 图 2 散射 大多数镜面的表面都是漫反射表面和镜面混合的。因为并不是理想的镜面，根据： 可以计算功率被反射的情况。 下表给出几种红外半导体材料的性能： 材料 硒化锌 (ZnSe) 砷化镓 (GaAs) 锗 (Ge) 碲化镉 (CdTe) 硫化锌 (ZnS) 折射率(n) 2.4 3.3 4.0 2.7 2.2 吸收系数(cm-1) ≤0.0005 ≤0.01 ≤0.03 ≤0.0018 ≤0.2 热传导率(W/cm·℃) 0.18 0.48 0.59 0.062 0.167 比热(J/g/℃) 0.356 0.325 0.31 0.21 0.47 线性膨胀系数(×10-6/℃) 7.57 5.7 5.7 5.9 6.8 密度(g/cm3) 5.27 5.37 5.32 5.85 4.08 努普硬度(kg/mm2) 105~120 750 690 45 210~240 例如：激光束从空气中入射到硒化锌表面，反射率 R=(1-2.4)2/(1+2.4)2=0.17 说明功率有17%被反射，激光切割的聚焦透镜是不允许有这么高的反射率的。因此，在聚焦透镜的两个表面针对激光的某一波长镀有增透膜，以减少反射损失。 如果n2n1, 入射光波和反射光波将发生180°相位差。 折射定律也就是众所周知的斯涅尔（Snell）折射定律，如图4。 n1 n2 n1sinθ= n2sinφ 图 3 折射 当线偏振光垂直于入射面，反射光线和平行于入射面的折射光线成90°时，如图5： 图 4 θB=tan-1(n2/n1) 这就是布儒斯特(Brewster)定律。反射定律、折射定律和布儒斯特定律在激光应用中会经常遇到。 近轴光线凹球面反射镜的成像, 如图6。 图 5 可根据反射定律给出以下方程： 其中S是物距，S’是像距，f是反射镜的焦距，R是反射镜的曲率半径。 在实际激光应用中，大多数采用简单的薄透镜聚焦，如图7。 图 6 图 7 这里S、S’和f与上式相同，其中n是折射率，R1是透镜左边的曲率半径，R2是透镜右边的曲率半径。 对于平凸透镜来说，R2无穷大，那么 f=R/（n─1） CO2激光加工设备的聚焦透镜主要采用硒化锌材料。这种红外半导体材料对10.6μm波长的透过率为70%，吸收系数比砷化镓和锗低两个数量级，并且有良好的热传导率等性能。 聚焦透镜的两个表面均镀有增透膜，以降低反射损失。反射镜一般采用直接水冷的铜镜，表面镀金或其他抗氧化高反射率材料。 激光 激光，来源于英文La