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第 卷第 期 微 电 子 学 ， ４５ ３ Ｖｏｌ．４５ Ｎｏ．３ 年 月 ２０１５ ６ Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｊｕｎ．２０１５  用于相变存储器的高效开关电容电荷泵 ， ， ， ， 雷 宇 陈后鹏 金 荣 胡佳俊 宋志棠 　 　 （ ， ） 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海 ２０００５０ ： 。 摘 要 提出一种应用于相变存储器芯片的新型开关电容电荷泵 对于 位的相变存储器芯 １６ 　 　 ， ， 。 ， 片 系统擦写时间大于１００ｎｓ 电荷泵的驱动能力至少为６０ｍＡ 相比于传统开关电容电荷泵 该 ， 电荷泵根据负载电流大小自动生成一个使能信号 该信号通过控制升压模块功率管的开启与关断 ， 。 来调节输出电压 最终将输出电压控制在一个允许的范围内波动 采用 ４０ｎｍＣＭＯＳ工艺对电荷 　 ， ， ， ； 泵进行设计和仿真 结果表明在 ５ｍＡ 负载时 电源效率为８７％ 输出纹波为 ２．８４ ｍＶ 负载电流 ， ； ／ ， 从 变化到 时 电源效率皆高于 负载电流变化在 时 输出瞬态响应 ０ｍＡ ６０ｍＡ ８２％ ３００ ｍＡ ｓ μ ， 。 时间为１．６３ ｓ满足相变存储器芯片的使用要求 μ ： ； ； ； ； 关键词 电荷泵 输出电压自动调节 输出纹波 电源效率 负载瞬态响应 　 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＮ４３２ Ａ １００４３３６５２０１５０３０３３５０５ － － － DOI:10.13911/j.cnki.100