椭偏仪测量薄膜厚度和折射率3.docVIP

椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 实验目的 1.了解椭偏仪测量薄膜参数的原理. 2.初步掌握反射型椭偏仪的使用方法. 实验原理 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的.通常,设介质层为n1、n2、n3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉,如图(1-1) 介质n1 界面1 薄膜n2 界面2 衬底n3 Eip和Eis 分别代表入射光波电矢量的p分量和s分量，Erp和Ers 分别代表反射光波电矢量的p分量和s分量.现将上述Eip、Eis 、Erp、Ers 四个量写成一个量G,即: =· …(3) 我们定义G为反射系数比，它应为一个复数，可用和表示它的模和幅角.上述公式的过程量转换可由菲涅耳公式和折射公式给出: 推导出和与r1p、r1s、r2p、r2s、和δ的关系: ]1/2 …(10) …(11) 由上式经计算机运算,可制作数表或计算程序. 这就是椭偏仪测量薄膜的基本原理. G== …(13) 其中: , = …(14) 这时需测四个量，即分别测入射光中的两分量振幅比和相位差及反射光中的两分量振幅比和相位差，如设法使入射光为等幅椭偏光，，则；对于相位角，有： …(14) 因为入射光连续可调，调整仪器，使反射光成为线偏光，即=0或（）， 则或，可见只与反射光的p波和s波的相位差有关，可从起偏器的方位角算出.对于特定的膜, 是定值,只要改变入射光两分量的相位差,肯定会找到特定值使反射光成线偏光, =0或（）. 实际检测方法 ①等幅椭圆偏振光的获得(实验光路如图1-2) a.平面偏振光通过四分之一波片,使得具有±π/4相位差. b.使入射光的振动平面和四分之一波片的主截面成450. ②.反射光的检测 将四分之一波片置于其快轴方向f与x方向的夹角α为的方位,E0为通过起偏器后的电矢量,P为E0与x方向间的夹角.,通过四分之一波片后, E0沿快轴的分量与沿慢轴的分量比较,相位上超前. 在x轴、y轴上的分量为: 由于x轴在入射面内,而y轴与入射面垂直,故Ex就是Eip,Ey就是Eis. 由此可见,当时,入射光的两分量的振幅均为,它们之间的相位差为 ,改变P的数值可得到相位差连续可变的等幅椭圆偏振光.这一结果写成: , 同理, 当时,入射光的两分量的振幅也为,相位差为 实验处理： 实验数据： 波片置+45 A1 P1 A2 P2 104.1 o 107.5 o 86.9o 12.6o 波片置-45o A3 P3 A4 P4 100.3 o 160.1 o 82.5 o 69.8 o 经计算机程序算得： 厚度为：117nm 折射率为：2.08 注：实验时先测六号样品，但测得的数据不正确，多次测量仍然如此，后发现样品表面已被人触摸过，表面薄膜已被破坏，在征得老师同意后，改测十号样品，故此实验数据均为十号样品的。 误差来源： 本实验有较大误差，在判断消光时，靠人眼分辨不是很准确，而实验中又多次要用观察，因此产生很大误差，读角度时，有仪器分度的误差，和读数误差，而且由程序拟合结果必然存在误差。 实验总结： 本实验时，由于样品上表面及下表面均有反射光，所以在判断消光时，放大镜中出现两个亮斑，一个为样品所反射的光，另一个为玻璃衬底反射光。根据光路可知，应使靠近身体一侧的亮斑消光。如果忽视这一点，将会产生很大误差，在作第一次的试验结果为厚度129nm，折射率2.25。后来重新操作才得出正确实验结果，看似微小的操作可引起很大的误差。 思考题： 1． 波片的作用是什么？ 答：平面偏振光通过四分之一波片,使得具有±π/4相位差.将产生同频率，相位差为90的两分量光，E0沿快轴的分量与沿慢轴的分量比较,相位上超前. 2. 椭偏光法测量薄膜厚度的基本原理是什么？ 答：本实验通过测定入射光两分量的