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浅谈LED制造工艺流程及细节 作者： 深圳市新亚电子制程股份有限公司李毅
责任编辑：
发布日期： 2007年09月28日
????? 随着20世纪90年代，人类对氮化物LED的发明、LED的效率有了非常快的发展。随着相关技术的发展，在不久的未来LED会代替现有的照明灯泡。近几年人们制造LED芯片过程中首先在衬底上制作氮化镓（GaN）基的外延片，外延片所需的材料源(碳化硅SiC)和各种高纯的气体如氢气H2或氩气Ar等惰性气体作为载体之后，按照工艺的要求就可以逐步把外延片做好。接下来是对LED-PN结的两个电极进行加工，并对LED毛片进行减薄，划片。然后对毛片进行测试和分选，就可以得到所需的LED芯片。由于制作LED芯片设备的造价都比较昂贵，同时也是生产的一个投资重点，具体的工艺做法，不作详细的说明。下面简单介绍一下LED生产流程图，如下：
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????????????????????? LED生产流程图
??????????????? （流程工艺）???????????????????????? （使用设备）?
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????????????????? 测试芯片?????????????????????????? 芯片分选机
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????????????????? 排支架?????????????????? （ 把芯片固定在支架座）芯片扩张机
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???????? ?????????点?? 胶??????????????????????????? 点胶机 显微镜
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????????????????? 固?? 晶???????????????????? 倒膜机? 扩晶机 显微镜 固晶座
￤QC???????????????????????????????? ￤
(*白光 )????????? 固晶烘烤?????????????????????????? 烘箱? 150C／2H
￤??????????????? ￤?????????????????????????????????? ￤
配荧光粉?????? 焊? 线????? (芯片焊两个电极) 自动焊线机 超声波焊线机????????????????? ￤??????????????? ￤?????????????????????????????????? ￤
点荧光粉???????? *二焊加固锒胶????????????????????? 点胶机? 显微镜
￤??????????????? ￤(QC白光)????????????????????????? ￤
烘烤150C／1H -- *锒胶烘烤?????????????????? 烘箱 电子称 抽真空机 点胶机 显微镜
￤?????????????????????????????????? ￤
*支架沾胶???????????????? ( 支架沾胶)点胶机? 烤箱 120C／20min
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(下面说明植入工艺) 植入支架???? -- 灌胶机 ----??????? 自动灌胶机
短? 烤???? --?? 烘? 箱
离? 模?? --???? 脱模机???????????????? ￤
￤
长? 烤?????????????????????????? 烘箱? 130C／6H
?￤?????????????????????????????????? ￤
－? 切?????????????????????????? 一切模具(冲床)
￤?????????????????????????????????? ￤
测试点数?????????????????????????? LED电脑测试机
￤? QC?????????????????????????????? ￤
全切???????????????????????????? 冲压机及全切模
￤? QC??????????????????????????????? ￤
分光分色?????????????????????????? LED分选机
￤? QC???????
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