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( ) 北京大学学报 自然科学版 ,第 38 卷 ,第 5 期 ,2002 年 9 月 Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Pekinensis , Vol . 38 , No . 5 ( Sep ,2002) 实验设计与模拟相结合用于 IC 优化设计的 TCAD 工具 甘学温 　杜 　刚　肖志广 (北京大学微电子学研究所 ,北京 ,100871) 摘 　要 　鉴于 PC 机广泛普及和使用方便 ,在 PC 机上建立起实验设计与模拟相结合用于 IC 优化 设计的 TCAD 工具 。利用已有的工艺模拟软件 SUPREM 、器件模拟软件 MINIMOS 及电路模拟软件 PSPICE ,完成了响应表面拟合 、SPICE 模型参数提取及数据转换等程序 ,形成一个可以进行工艺 、器 件及电路分析和优化设计的 TCAD 工具 ,并用于研究实验设计方法在 IC 优化设计中的应用 。 关键词 　实验设计 ; 响应表面 ; 优化设计 ; TCAD 工具 中图分类号 　TN 402 0 　引　言 用 TCAD 工具代替实际工艺实验进行研究 , 已成为集成电路新工艺 、新器件及新电路结构 早期开发的一个有效途径 。随着个人计算机的普及 , 出现了许多用于 PC 机的模拟工具和辅 助设计软件 ,如工艺模拟软件 SUPREM ,器件模拟软件 MINIMOS 、电路模拟软件 PSPICE 以及版 图设计辅助工具L EDIT 等 。然而这些模拟软件都只能分析给定条件下的器件或电路性能 ,不 能给出各种有影响的因素与器件或电路性能之间的直接函数关系 。当要对诸多因素的影响进 行分析 ,并在一定范围内进行性能优化时 ,单纯用这些工艺 、器件和电路模拟软件就很难实现 优化设计 。应用实验设计[ 1] (DOE :Design Of Experiment) 技术 ,可以解决这种多因素分析和性能 优化的问题 。 随着微电子工业的深入发展 , 国外自80 年代开始把实验设计用于微电子技术的研究和开 发[2～4 ] 。用 DOE 技术可以合理地安排要进行的实验或模拟的条件 ,极大地减少所需要的实验 或模拟次数 ,并能在一定范围内找出最优化的实验条件 ,从而减少研究和开发的时间和成本 。 鉴于 PC 机广泛普及和使用方便 ,本文作者在 PC 机上建立起实验设计与模拟相结合用于 IC 优化设计的 TCAD 工具 ,研究实验设计方法在 IC 优化设计中的应用 。 1 　集成的 TCAD 工具 利用 PC 机上已有的模拟软件 SUPREM ,MINIMOS 和 PSPICE ,并完成了实验设计和响应表 面拟合 ,PSPICE 模型参数提取以及各个模拟器之间的数据转换程序 ,从而在 PC 机上建立起实 　 收稿 日期 : ( ) 7 14 北 京 大 学 学 报 自 然 科 学 版 　　 第 38 卷 　 验设计与模拟相结合用于 IC 优化设计 的 TCAD 工具 。 图 1 给出了整体框图 , 图中方框是已有的模拟软件 ,椭圆 内表示作者开发的程序 。 CONVERT1 和 CONVERT2 是各个模拟器之间的数据 转换程序 。MKINPUT1 是根据实验设计确定的实验点改 写MINIMOS 输入文件 。MKINPUT2 是改写 PSPICE 输入 文件中的模型参数 ,产生 PSPICE 的输入文件 。EXD 是对