柔性双补偿杆式动镜支撑机构的设计-光学精密工程.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ６ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ６ Ｊｕｎ．２０１１ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０６１３１３０７ 　 柔性双补偿杆式动镜支撑机构的设计 ， ， １２ １ １ １ １２ 柳 华 ，刘伟奇 ，冯 睿 ，魏忠伦 ，张 健 　 　 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００３９） 摘要：对红外傅里叶变换光谱仪动镜支撑机构的核心部分—柔性铰链机构进行了研究。以柔性单补偿杆式机构为基体， 设计出一种柔性双补偿杆式机构。利用有限元分析软件 和 对其进行了模拟计算，并和目前国内最好的 Ｐａｔｒａｎ Ｎａｓｔｒａｎ 柔性单补偿杆式机构进行比较。然后，根据模拟计算得出的结构参数加工出简易实物，并对实物进行了实验测试及误差 分析。结果表明，在模拟计算中，柔性双补偿杆式机构使动镜的垂直耦合位移缩小为柔性单补偿杆式机构的 ６．８％；误 差分析认为柔节的长度公差是引起动镜垂直耦合位移的一个重要因素。因此，若要提高动镜支撑机构的精度，加工时必 须严格控制与柔节相关的尺寸公差。 关 键 词：红外傅里叶变换光谱仪；迈克尔逊干涉仪；动镜机构；柔性铰链机构；有限元分析；垂直耦合位移 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＨ７４４．１ＴＨ７０３ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１３１３ 　　 　　 犇犲狊犻狀狅犳犳犾犲狓犻犫犾犲狊狌 狅狉狋犻狀 犿犲犮犺犪狀犻狊犿 犵 狆狆 犵 狑犻狋犺犱狅狌犫犾犲犮狅犿 犲狀狊犪狋犻狅狀狉狅犱狊犳狅狉犿狅狏犻狀 犿犻狉狉狅狉 狆 犵 ， ， １２ １ １ １ １２ ， ， ， ，