mems材料力学性能测试方法 test methods for mems material mechanical properties.pdfVIP

MEMS器件与技术 MEMS Device＆Technology M EMS材料力学性能测试方法 陈 樟1，苏 伟2，万 敏1 (1．北京航空航天大学机械工程及自动化学院，北京100083； 2．中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳 621900) 摘要：随着微机电系统(MEMS)的蓬勃发展，如何准确获得MEMS材料的力学性能参数成为 当今研究的热点。由于尺度微小，试祥的夹持、载荷的施加和测量、位移的测量等问题十分突 出。本文对当今MEMS力学性能研究中一些典型的微测试方法，如纳米压痕法、单轴拉伸法、 鼓膜法、微梁弯曲法及衬底曲率法等分别进行了阐述，详细介绍了这些方法的原理、优缺点以 及可测得的力学性能参数。 关键词：力学性能测试；微机电系统；纳米压痕；单轴拉伸；鼓膜 Test forMEMSMaterial