共振隧穿二极管型光探测器和光调制器 photodetector and optical modulator with rtd structure.pdfVIP

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2017-08-31 发布于上海
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共振隧穿二极管型光探测器和光调制器 photodetector and optical modulator with rtd structure.pdf

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共振隧穿二极管型光探测器和光调制器 photodetector and optical modulator with rtd structure

纳米器件与技术 Nanoelectronic Device＆Technology 共振隧穿二极管型光探测器和光调制器陈乃金1，郭维廉2一，牛萍娟2，王伟2，于欣 2 (1．安徽工程科技学院计算机科学与工程系，安微芜湖241000； 2．天津工业大学信息与通信学院，天津300160； 3．天津大学电子信息工程学院，天津300072) 摘要：将共振隧穿二极管(RTD)的核心结构——双势垒系统与光探测器和调制器的原理相结合可构成共振隧穿光探测器和共振隧穿光调制器。这些器件既保持了RTD高频、高速的特点，同时又具备了光探测器和光调制器原有的功能，可用于光电集成电路。介绍了这种具有代表性的 RTD型光电器件的工作原理、器件结构、制造工艺、器件参数测试等，为此类器件在国内的设计和研制奠定基础。关键词：共振隧穿二极管；光电器件；光探测器；光调制器中图分类号：TN312+．2 文献标识码：A 文章编号：1671．4776(2008)01．0006．06 Photodetector and ModulatorwithRTDStructure Optical Chen Xin2 Weilian2”，Niu Wei2，Yu Naijinl，Guo Pingjuan2，Wang Scienceand nhui and (1．DepartmentofComputer Eng．A UniversityofTechnologyScience，Wuhu241000，China； 2．School andCommunication ofInformation Eng．TianjinPolytechnicUniversity，Tianjin300160，China； 3．School ofElectronic InformationEng．TianjinUnenity，Tianjin300072，Ch／na) Abstract：Doublebarrier corestructureofRTDresonant f diodelcombined system，the tunneling with detectorand modulatortoform photo optical theresonant andresonant tunnelingphotodetector modulator．Thesedevicesmaintainthe of as and tunnelingoptical advantagesRTD，such highspeed and thefunctio