硅油稀释pdms法制备紫外纳米压印软模板 uv-nil soft mold fabricated by pdms diluted with silicon oil.pdfVIP

下载本文档

217
0
约1.66万字
约 5页
2017-08-31 发布于上海
举报
版权申诉

硅油稀释pdms法制备紫外纳米压印软模板 uv-nil soft mold fabricated by pdms diluted with silicon oil.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

硅油稀释pdms法制备紫外纳米压印软模板 uv-nil soft mold fabricated by pdms diluted with silicon oil

显微、测量、徽细加工技术与设备 Microscope，Measurement，Microfabrication 硅油稀释PDMS法制备紫外纳米压印软模板李海鑫，黄其煜 (上海交通大学微电子学院，上海200240) 摘要：软模板的制作是紫外纳米压印中关键的技术，模版的分辨率直接决定了压印图形的最小分辨率。使用具有高度均匀、100rim级孔洞阵列结构的多孔氧化铝作为母版，使用基于液态浇铸的硅油稀释聚二甲基硅氧烷(硅油和聚二甲基硅氧烷的质量比为1：2)法制备出具有规则点阵结构的软模板。通过SEM和AFM表征发现，特征图形得到了有效转移，特征尺度保持在 100 rim左右。相对于传统的模板制备方法，此方法成本低、流程简单、适合大规模生产，是一种非常有前途的软模板制备方法。关键词：聚二甲基硅氧烷；硅油；紫外纳米压印；软模板；浇铸法中图分类号：TN305文献标识码：A文章编号：1671—4776(2010)03—0188—05 Mold PDMSDilutedwithSiliconOil UV-NILSoft Fabricated by LiHaixin． HuangQiyu (School Jiao 200240，China) ofMicroelectronics，ShanghaiTongUniversity，Shahghai is fortherealizationofultraviolet Abstract：Thefabricationofthesoftmoldacritical technology ultimateresolutionofthe fabricatedwith nanoimprintlithography(UuNIL)．Thepatterns the soft UV—NILiS determinedtheresolutionofthefeatureson softmold．The primarily by moldwith dot wasfabricatedan moldfabrication regulararrays throughimproved process，using polydimethylsiloxane(PDMS)dilutedbysiliconoilasflexiblemoldmaterials(m(siliconoil)： aluminumoxide with ordered100nmhole as m(PDMS)=1：2)，and highly arrays templates structuresaretransferredeffec- mastermolds．TheSEMandAFM showthatthefeature images thetransferredfeaturescaleremainsabou