沉积气压对杂化离子镀犜犻犆荦薄膜结构和性能的影响-中国表面工程.PDF

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２８ ５ Ｖｏｌ．２８ Ｎｏ．５ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１５ １０ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｏｃｔｏｂｅｒ ２０１５ ： ／ ｄｏｉ１０．１１９３３ ．ｉｓｓｎ２０１５．０５．００４ ｊ 沉积气压对杂化离子镀犜犻犆犖薄膜结构和性能的影响 王 宇，黄美东，李云珂，陈泽昊，张 臣，杨明敏 　 　 （天津师范大学 物理与材料科学学院，天津 ３００３８７） 摘 要：ＴｉＣＮ薄膜在刀模具领域有着广泛的应用前景，但它的结构和性能往往随制备工艺参数的不同而有较大差 　 异。为了研究沉积气压对杂化离子镀 薄膜结构和性能的影响，找到合适的 和 分压比以优化工艺参数，采 ＴｉＣＮ Ａｒ Ｎ２ 用杂化离子镀技术在高速钢、硅片以及不锈钢片表面制备 薄膜，通过改变沉积过程中 和 的分压获得不同 ＴｉＣＮ Ａｒ Ｎ２ 的薄膜。用 射线衍射仪、扫描电子显微镜、维氏硬度计、摩擦磨损仪、 台阶仪对薄膜的物相结构、表面形貌、显微 Ｘ ＸＰ ２ 硬度、摩擦因数和沉积速率进行表征。结果表明： 膜层择优生长方向主要表现为 相的（ ）晶面；试验中保 ＴｉＣＮ ＴｉＣＮ １１１ 持 分压为 不变，增加 分压，即沉积气压增大，薄膜的显微硬度先升高再降低，对应摩擦因数先降低再升 Ａｒ ０．１Ｐａ Ｎ２ 高，沉积速率不断减小最终趋于平缓，而表面形貌受沉积气压变化的影响很小。 关键词：杂化离子镀；ＴｉＣＮ薄膜；沉积气压；显微硬度；摩擦磨损性能 中图分类号： ； 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７４．４４４ ＴＧ１１５．５８ Ａ １００７９２８９２０１５０５００２４０６ 　　 　　 犈犳犳犲犮狋狊狅犳犇犲狅狊犻狋犻狅狀犘狉犲狊狊狌狉犲狅狀犛狋狉狌犮狋狌狉犲犪狀犱犘狉狅犲狉狋犻犲狊狅犳犜犻犆犖犉犻犾犿狊犫 狆 狆 狔 犎犫狉犻犱犐狅狀犘犾犪狋犻狀 狔 犵 ， ， ， ， ， ＷＡＮＧＹｕ ＨＵＡＮＧＭｅｉｄｏｎ ＬＩＹｕｎｋｅ ＣＨＥＮＺｅｈａｏ ＺＨＡＮＧＣｈｅｎ ＹＡＮＧＭｉｎ ｍｉｎ ｇ ｇ （ ， ， ）