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第卷第期光谱学与光谱分析年月激光诱导等离子体技术在金薄膜加工微检测中的应用研究袁冬青周明沈坚任乃飞蔡兰江苏大学光子制造科学技术中心江苏镇江摘要薄膜材料微加工是微纳技术微机电系统光电子领域的核心技术文章提出了针对薄膜加工时缺乏有效的质量控制手段应用激光诱导等离子体技术进行过程表征的方法研究了脉冲激光微过程中等离子体量与激发条件的关系得出了在低频和在确定能量水平条件下等离子体量相对稳定不依赖于脉冲次数在单脉冲条件下激发等离子体量随着能量的升高而增加根据等离子体量和元素类别可实现对微加工过程去除量进行
第28卷 ，第1O期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 Vo1．28，№．10，pp2232—2236
2008年 10月 SpectroscopyandSpectralAnalysis Ottobet．2008
激光诱导等离子体技术 (LIBS)在金薄膜加工微检测中的应用研究
袁冬青，周 明 ，沈 坚，任乃飞，蔡 兰
江苏大学光子制造科学技术 中心，江苏 镇江 21201
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