ar等离子体电子温度光谱法测量探究柯福顺摘要在采用一般精度的.docVIP

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等离子体电子温度光谱法测量探究柯福顺摘要在采用一般精度的光谱仪时通过测量辉光放电等离子体的光谱根据玻尔兹曼分布进行多谱线线性拟合求得等离子体电子温度讨论光谱法在实验数据上的处理反映出的等离子体物理性质在普通条件下该方法对不同实验条件下电子温度变化的灵敏度在半定量水平关键词光谱法等离子体辉光放电电子温度多谱线拟合引言在低温等离子体物理性质的测量中电子温度测量是重要一环此处的电子温度又可分为平动温度和激发温度前者表现在自由半束缚电子的平均动能上后者表现在束缚半束缚电子的被激发强度即光谱光强分布上在局

Ar等离子体电子温度光谱法测量探究 柯福顺 摘要:在采用一般精度的光谱仪时,通过测量Ar辉光放电等离子体的光谱,根据玻尔兹曼分布进行多谱线线性拟合,求得等离子体电子温度。讨论光谱法在实验数据上的处理、反映出的等离子体物理性质。在普通条件下,该方法对不同实验条件下电子温度变化的灵敏度在半定量水平。 关键词:光谱法,Ar等离子体,辉光放电,电子温度,多谱线拟合 引言 在低温等离子体物理性质的测量中,电子温度测量是重要一环。此处的电子温度又可分为平动温度Ttr和激发温度Tex。前者表现在自由、半束缚电子的平均动能上,后者表现在束缚、半束缚电子的被激发强度,即光谱光强分布上。在局部热力学平衡(LTE)

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