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田口式实验计划法 (Design Analysis Of Experiment) 亚博制程管理顾问有限公司 讲师:蔡春荣 Fax:+886-2-2609-0227 E-mail:t1045@so-net.net.tw 实验计划法内容 何谓实验计划法 特性值分类 要因分类 水平值设定 直交表入门 选择最适条件 ANOVA在直交表的应用 确认实验 DOE之分类 目前DOE大致可分为以BOX及Taguchi为首的2大阵营。 其大致差异如右表 对策拟定与实施 -Fine tune S/B recipe (DOE) Permanent corrective action 真因分析与验证 Root cause analysis and verification 实验计划法序论--实验规划 如何镀层膜厚增加 假设影响膜厚的原因有 A)压力:100、50 B)加压时间:1.3、1.5min C)填充剂:多、少 准备6次实验可以吗? 在相同的B)时间、 C)填充剂 压力:100、50 在相同的A)压力、C)填充剂 加压时间:1.3、1.5 在相同的A)压力、B)加压时间 填充剂:多、少 好象不行,因为在看压力时该用哪一种加压时间、填充剂? 用8次可以吗? 1-100、1.3 min、多 2-100、1.3 min、少 3-100、1.5 min、多 4-100、1.5 min、少 5-50、1.3 min、多 6-50、1.3 min、少 7-50、1.5 min、多 8-50、1.5 min、少 用4次可以吗? 1-100、1.3 min、多 4-100、1.5 min、少 6-50、1.3 min、少 7-50、1.5 min、多 序论--实验规划 用4次可以吗? 100、1.3 min、多 +32 100、1.5 min、少 +30 50、1.3 min、少 +34 50、1.5 min、多 +24 假设压力100时会增加X公厘,而压力50会降低X公厘(对四组的平均而言),其中X之正、负未知。亦即两者差距为2X公厘。 同理:时间、填充剂分别为2Y公厘、 2Z公厘,而四组的体重平均增加W公厘 方程式如下 W+X+Y+Z=32 W+X-Y-Z=30 W-X+Y-Z=34 W-X-Y+Z=24 解方程式答案为 W=30 X=1 Y=3 Z=-2 最佳条件希望结果越大越好:压力100、时间1.3 min、填充剂少,此一结果会得到36公厘 定义名词及其重点 一、特性值Output选定 以数值形式作分类: 计数值:量测数值不为连续量,一般用“个”代表。 单纯计数值:将一个特性区分为良品或不良品,常用在外观等,例如:不良个数、故障台数.... 多重计数值:将一个特性区分为优、良、中、可、劣,例如:外观可分为好、有一些瑕疵、有很多瑕疵。 计量值:量测数值为连续量。订定规格时常用它。 单一目标之特性。Ex:某一规定的尺寸或电压或颜色.... 多重目标之特性,依据不同的需求,只要改变某一要因即可达成不同产品。Ex:经由三原色加入量的不同即可做出不同的颜色,此时对颜色而言是有无限多的目标。 至于单一特性或者多个特性只在于最后找出最佳组合时会有影响,因此留在最适条件选取时再谈 二、要因Factor分类—田口的分法 要因:会影响特性值的要因(配方) 。 控制要因:可由设计者或主事者变更之要因,用以得到最安定(最佳)之产品输出值(特性值)。例如:制程条件、构成组件等。 误差要因:不可由设计者或主事者变更之要因,或者变更时所需成本相当高。例如;环境温度对于产品的影响等。它适用来评估设计者找出的配方能否接受考验的重要要因。 信号要因:和特性值有一已知之函数关系,此要因只存在于多重目标特性中,藉由改变此一要因达成不同目的特性的需求。如前例中的三原色的添加量即为信号要因。 三、何谓水平LEVEL&水平值 水平乃是该要因在能够被设定之可能范围内,取得数个不同之设定值,此时称该要因具有数个水平。而该设定值称水平值。 常用之水平为 2水平:一般用于非连续之要因。 3水平:一般用于连续之要因。 例如:涂布时Temp为控制要因(令为A),其可能之加工范围为280~330时,常将其取成3水平,其代号及水平值分别如下:A1=280,A2=300,A3=330 注意:当A为连续性要因,其个水平之间隔要大于6倍标准差 四、交互作用之定义(一) 用以下2个变量A,B其分别可以设定为Low,High。假使会有以下情形则称为没有交互作用,亦即2者相互独立。 交互作用之定义(二) 假使会有以下情形则称为具有交互作用,亦即2者相互依存。 交互作用之重点 用已研究2变数间依存程度之大小。一般变量皆会有一定程度之依存,因此可藉由它来判断其大小。 如果不知交互作用之大小,而给予错误假

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