二元光学元件的制造技术.doc

二元光学元件的制造技术 一．概述 二元光学是基于光波衍射理论发展起来的一个新兴光学分支，是光学与微电子技术相互渗透、交叉而形成的前沿学科。基于计算机辅助设计和微米板加工技术制成的平面浮雕型二元光学器件具有质量轻、易复制、造价低等特点，并能实现传统光学难以完成的微小阵列、集成及任意波面变换等新功能，从而使光学工程与技术在诸如空间技术、激光加工技术与信息处理光纤通信及生物医学等现代国防、科学技术与工业等诸多领域中显示出前所未有的重要作用及广阔前景。 20世纪80年代中期，美国MIT林肯实验室率先提出，衍射光学元件的表面带有浮雕结构，使用了制作集成电路的生产方法，所用的掩模是二元的，而且掩模用二元编码形式进行分层，故引出了“二元光学”的概念。 随后加拿大、德国、俄罗斯等国也相继开展了这一领域的工作。20世纪90年代初期，国际上兴起研究二元光学的热潮，并引起学术界和工业界的极大兴趣和青睐。与此同时，我国也开始了该方面的研究。经过十几年的研究，二元光学元件在设计理论、制作工艺和应用等方面取得了突破性进展。 （一）二元光学元件的结构 二元光学元件是以光的衍射理论和计算机技术作为设计基础，以现代微电子技术作为加工和测量手段发展起来大的。设计人员应用衍射理论和计算机数值计算，设计出满足一定功能的二元光学元件的位相分布，然后通过制造掩模、光刻、离子蚀剂、镀膜等各种细微加工方法，在玻璃、硅片或晶体片基上形成由亚微米级离散像素构成的浮雕型结构。图1给出三种不同类型的二元光学元件剖面示意图。其中图a为二值型，只包含0，两个位相等级；图b为多值型，包含有N=2个位相等级（图中n=2）;图c为混合型，它由一个折射光学元件和一个二元光学元件组合而成。 图（1） （a）二值型元件；（b）多值型元件；（c）混合型元件 （二）二元光学元件特点 二元光学元件除具有体积小、质量轻、容易复制等优点外，还具有如下许多独特的功能和特点： 1．高衍射效率 二元光学元件是一种纯相位衍射光学元件，为得到高衍射效率，可做成多位相等级的浮雕结构。一般使用N块模板可得到L（=2）个位相等级，其衍射效率为=。当相位等级L时，同轴理论衍射效率接近于100%。 2．更多的设计自由度 在传统的折射光学系统或镜头设计中只能通过改变面的曲率或使用不同的光学材料校正像差，而在二元光学元件中，则可通过波带片的位置，槽宽，槽深及槽型结构的改变产生任意波面，灵活地产生任意复杂形状的波面；或者将一种波面或辐射强度分布变换为另一种符合要求的波面或强度分布，从而大大增加了设计自由度，设计出许多传统光学所不能的全新功能光学元件，这是对光学设计的一次新的变革。 3．独特的色散性能 一般情况下，二元光学元件在单色光下使用。但正因它是一个色散元件，具有不同常规元件的色散性能，故可在折射光学系统中同时校正球差与色差，构成混合光学系统，以常规折射元件的曲面提供大部分的聚焦功能，再利用表面上的浮雕相位波带结构校正像差。这一方法已用于行的非球面设计和温度补偿等技术中。 4．材料的可选择范围宽 二元光学元件是将二元浮雕面形转移至玻璃介质或金属基地上，可选用材料范围宽。此外，在光电系统材料选取中，一些红外材料，如ZnSe和Si等，由于它们具有一些不理想的光学特性，经常被限制使用。而二元光学技术可利用它们并在相当宽的波段消色差；在远紫外应用中，可使用的光学成像波段展宽1000倍。 5．适用范围广 二元光学元件适用范围广，不紧可用于激光等单色光，也可用于准单色光及至宽带光源不仅用于可见光，而且用于微波，红外，紫外和射线等各种不同的波段。 6．特殊的光学功能 二元光学元件可产生一般传统光学元件难以实现的光学波面，如非球面，环状面，锥面和镯面，并可集成的到多功能元件；使用亚波长结构还可以得到宽带，大视场，消反射和偏振等特性。 二元光学元件这些优良特性必将促进光学设计从折射向衍射发展，促进光学元件和光学系统向小型化，阵列化，集成化方向发展。二元光学的发展史光学系统的设计和光学加工工艺发生深刻的变革，这势必会引发光学领域的新的技术革命。 随着二元光学技术的发展，二元光学元件已广泛用于光学传感，光通信，光计算，数据存储，激光医学，娱乐消费以及其他特殊系统中。 二．二元光学元件的制造工艺 二元光学元件是一种纯位相型衍射光学元件。它的表面台阶的深的及空间周期均小于光波长，因此必须应用现代微电子技术中的微细加工工艺来制造。目前常用的加工工艺有如下几种。 离子蚀刻法 这种方法的工艺流程是，根据设计出的二元光学元件的位相分布，产生一组振幅型掩模，然后通过反映离子蚀刻，制造出二元光学元件。 二元振幅型掩模的制造 首先将解出的二元光学元件位相值量化为N个等级，一般去N=2。为制造出具有N个位相量化级的二元光学元件模板，必须产生一个二元振幅型掩模。以N=4为