基于平板波导的小型红外光栅光谱仪光学设计.PDFVIP

第35卷 ，第3期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 Vo1．35，No．3，pp841—845 2015年 3月 SpectroscopyandSpectralAnalysis March，2015 基于平板波导的小型红外光栅光谱仪光学设计 李扬裕 ，方勇华 ，李大成 ，刘 洋 1．中国科学院安徽光学精密机械研究所，安徽合肥 230031 2．中国科学院大学，北京 100049 摘 要 为实现红外光谱仪器的小型化，通过分析现有小型光谱仪，提出了一种基于平板波导的小型红外 光栅光谱仪的设计方法。平板波导光谱仪的小型化原理与一般的微小型光谱仪不同。在平板波导光谱仪中， 光束被限制在一层薄薄的平板波导介质中传播，看起来像是整个光学系统被压扁了。在垂直于平板波导的 方向上光学元件的尺寸可以做到很小 ，从而显著减小光学系统的尺寸。该系统的设计可分为Czerny-Turner 结构设计、波导结构设计。先根据像差理论设计 Czerny-