利用调整技术补偿离轴抛物面反射镜面形误差-光子学报.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ３９ ９ 　 　 　 Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．９ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１０ ９ Ｓｅｔｅｍｂｅｒ２０１０ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｐ 文章编号： （ ） １００４４２１３２０１００９１５７８４ 利用调整技术补偿离轴抛物面反射镜面形误差 ， ， ， ， １２ １ １２ １２ １２ 陈钦芳 ，李英才 ，马臻 ，李旭阳 ，郭永祥 （ 中国科学院西安光学精密机械研究所，西安 ） １ ７１０１１９ （ 中国科学院研究生院，北京 ） ２ １０００４９ 摘 要：为了提高光学系统的成像质量，对离轴抛物面反射镜的面形准确度要求越来越高，这大大 　 增加了反射镜的加工难度 本文基于波像差理论，分析了在离轴抛物面反射镜中调整量引入的波像 ． 差，提出通过适当调整离轴抛物面反射镜的位置补偿反射镜的面形误差，可以降低离轴反射镜的加 工难度、缩短其加工周期、减少加工成本 并借助于 软件对一块面形准确度低于 ／ ． ＺＥＭＡＸ λ４０ （ ）离轴抛物面反射镜进行仿真实验，根据理论计算的调整量调整反射镜的位 ＲＭＳ ＝６３２．８ｎｍ λ 置，得到了补偿后的离轴抛物面反射镜的面形误差小于 ／６０ＲＭＳ，仿真结果表明在离轴抛物面反 λ 射镜中引入适当的调整量可以有效地补偿反射镜的面形误差． 关键词：非球面加工；面形误差；波像差；调整技术；离轴抛物面镜 中图分类号： 文献标识码： ： ／ Ｏ３４８．１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ１５７８ 　　　　 　　　　 ｇ ［］ ７ 个自由度 ，分别是沿着 、、 坐标轴的平动 、 犡犢 犣 犇 ０ 引言 狓 　 二次非球面具有几何焦点的无像差特性，被广 泛应用于大口径光学系统中，使其结构简化 由于抛 ． 物面