基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器-仪器仪表学报.PDF

第３８卷　第１期 仪 器 仪 表 学 报 Ｖｏｌ３８Ｎｏ１ ２０１７年１月 ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｊａｎ．２０１７ 基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器 武　亮，彭东林，鲁　进，汤其富，陈锡侯 （重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心　重庆　４０００５４） 摘　要：针对现有磁场式直线时栅位移传感器行波磁场产生过程中，齿槽的存在影响行波磁场的匀速性，提出基于平面线圈线 阵的直线时栅位移传感器。无齿槽的结构形式提高了行波磁场的匀速性，可实现大极距下的高精度测量。传感器将施加正交 信号的两相励磁线圈相间排列形成平面线圈线阵，产生的行波磁场通过磁场拾取线圈感应出电行波信号，处理后得到位移量。 通过电磁场分析软件对传感器进行建模仿真，根据仿真结果得到测量误差；通过理论分析对测量误差进行分析溯源，并根据分 析结果对传感器结构进行优化。基于分析和优化结果研制出传感器样机，并进行了精度实验。实验表明，传感器在２４０ｍｍ内 测量精度为±１ ｍ，实现了精密测量。 μ 关键词：直线位移传感器；齿槽；平面线圈；时栅位移传感器；误差分析 中图分类号：ＴＨ７　　　文献标识码：Ａ　　国家标准学科分类代码：４６０．４０ Ｌｉｎｅａｒｔｉｍｅｇｒａｔｉｎｇｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｓｅｎｓｏｒｂａｓｅｄｏｎｌｉｎｅａｒａｒｒａｙｏｆｐｌａｎａｒｃｏｉｌｓ ＷｕＬｉａｎｇ，ＰｅｎｇＤｏｎｇｌｉｎ，ＬｕＪｉｎ，ＴａｎｇＱｉｆｕ，ＣｈｅｎＸｉｈｏｕ （ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＴｅｓｔｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄＥｑｕｉｐｍｅｎｔ，ＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ， ＣｈｏｎｇｑｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ４０００５４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｉｍｉｎｇａｔｔｈｅｐｒｏｂｌｅｍｔｈａｔｉｎｔｈｅｇｅｎｅｒａｔｉｏｎｐｒｏｃｅｓｓｏｆｔｒａｖｅｌｌｉｎｇｍａｇｎｅｔｉｃｆｉｅｌｄｉｎｅｘｉｓｔｉｎｇｍａｇｎｅｔｉｃｆｉｅｌｄｌｉｎｅａｒｔｉｍｅｇｒａｔｉｎｇ ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｓｅｎｓｏｒ，ｔｈｅｔｏｏｔｈａｎｄｓｌｏｔｉｎｆｌｕｅｎｃｅｔｈｅｖｅｌｏｃｉｔｙｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙｏｆｔｒａｖｅｌｌｉｎｇｍａｇｎｅｔｉｃｆｉｅｌｄ，ｔｈｉｓｐａｐｅｒｐｒｏｐｏｓｅｓａｌｉｎｅａｒｔｉｍｅ ｇｒａｔｉｎｇｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｓｅｎｓｏｒｂａｓｅｄｏｎｌｉｎｅａｒａｒｒａｙｏｆｐｌａｎａｒｃｏｉｌｓ．Ｔｈｅｓｅｎｓｏｒｓｔｒｕｃｔｕｒｅｗｉｔｈｏｕｔｔｏｏｔｈａｎｄｓｌｏｔｉｍｐｒｏｖｅｓｔｈｅｖｅｌｏｃｉｔｙ ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ，ｃａｎｒｅａｌｉｚｅｔｈｅｈｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｕｎｄｅｒｌａｒｇｅｐｏｌａｒｄｉｓｔａｎｃｅ．Ｉｎｔｈｅｓｅｎｓｏｒ，ｔｗｏｐｈａｓｅｅｘｃｉｔｉｎｇｃｏｉｌｓｅｘｅｒｔｅｄｗｉｔｈ ｏｒｔｈｏｇｏｎａｌｓｉｇｎａｌｓａｒｅａｒｒａｎｇｅｄａｌｔｅｒｎａｔｅｌｙｔｏｆｏｒｍａｌｉｎｅａｒａｒｒａｙｏｆｐｌａｎａｒｃｏｉｌｓ，ｔｈｅｇｅｎｅｒａｔｅｄｔｒａｖｅｌｌｉｎｇｍａｇｎｅｔｉｃｆｉｅｌｄｉｓａｃｑｕｉｒｅｄｂｙｔｈｅ ｐｉｃｋｕｐｃｏｉｌｓｔｏｏｂｔａｉｎｅｌｅｃｔｒｉｃｔｒａｖｅｌｌｉｎｇｓｉｇｎａｌ，ａｎｄｔｈｅｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｑｕａｎｔｉｔｙｉｓｏｂｔａｉｎｅｄａｆｔｅｒｓｉｇｎａｌｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ．Ｔｈｅｍａｇｎｅｔｉｃｆｉｅｌｄ ｆｉｎｉｔｅｅｌｅｍｅｎｔａｎａｌｙｓｉｓｓｏｆｔｗａｒｅｉｓｕｓｅｄｔｏｃｏｎｄｕｃｔｍｏｄｅｌｉｎｇｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｏｎｔｈｅｓｅｎｓｏｒ，ｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｒｒｏｒｉｓａｃｑｕｉｒｅｄｆｒｏｍｔｈｅ ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｒｅｓｕｌｔｓ；ｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｒｒｏｒｉｓａｎａｌｙｚｅｄａｎｄｔｒａｃｅｄｔｈｒｏｕｇｈｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌａｎａｌｙｓｉｓ，ａｎｄｔｈｅｓｅｎｓｏｒｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｓｏｐｔｉｍｉｚｅｄ