Gas cabinet Reference Manual University of （气体内阁大学参考手册）.pdfVIP

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2017-09-02 发布于浙江
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Gas cabinet Reference Manual University of （气体内阁大学参考手册）

Gas cabinet Reference Manual ® Tempress Systems, Inc. Gas cabinet manual M330_01 January 2004 This page intentionally left blank TABLE OF CONTENTS Table of contents 1. Introduction 1-1 1.1 Scope of the manual 1-1 1.2 Overview 1-1 2. Gas System 2-1 2.1 Gassystem parts 2-3 2.2 Electronics 2-14 2.3 Processes 2-14 3. Installation 3-1 3.1 Unpacking 3-1 3.2 Inspection 3-2 3.3 The gas cabinet 3-2 4. Start Up 4-1 4.1 Introduction 4-1 4.2 Prerequisites 4-1 4.3 Gas Cabinet start up 4-1 5. Maintenance5-1 5.1 Introduction 5-1 5.2 Leak-checks 5-1 5.2.1 Helium Leak check 5-1 5.2.2 Pressure Leak-check 5-2 5.3 Disassembly and cleaning of MFC’s 5-2 5.4 Disassembly and Cleaning of all flowmeters 5-2 5.5 Preventive maintenance Gassystem 5-3 5.6 Preventive maintenance processes 5-5 6. Trouble shooting 6-1 GAS CABINET REFERENCE MANUAL III LIST OF FIGURES List of figures Figure 1-1 Tempress L-shaped Gascabinet 1-1 Figure 2-1 Source gas pressure adjustment 2-3 Figure 2-2 LPCVD Gaspanel and components 2-4 Figure 2-3 Mass Flow Controller example 2-6 Figure 2-4 Mini and micro inline gas filter 2-7 Figure 2-5 Flowmeter 2-7 Figure 2-6 SMC digital pressure switch 2-8 Figure 2-7 Photohelic with high and low alarm limits 2-8 Figure 2-8 Schumacher ATCS bubbler system 2-9 Figure 2-9 Coldtrap (small design) 2-12 Figure 2-10 Cooling